EBARA 罗茨型干泵 EV-S 系列是一款按 SEMI 工业标准设计的真空泵，具有节能、紧凑、耐腐蚀等特点，主要应用于半导体制造等领域。以下是其详细介绍：
高效节能：采用独特的转子设计和怠速功能，实现了高水平的节能效果，在同类型泵中功耗低。其直流电机驱动不受频率（50/60Hz）影响，能提供更低的能耗和相同的抽气性能。
紧凑轻便：具有占用空间小、重量轻的特点，例如 EV-S20 型号的尺寸仅为 230×450×275mm，重量为 60kg，便于安装和搬运。
配置灵活：有多种配置可供选择，EV-SP 型含氮气吹扫功能，EV-SN 型采用镍合金材料并配备氮气吹扫功能，可满足不同工艺需求。
性能较好：在高压力下，独特的排气设计也能保证抽气能力，且具有较好的预警和报警数据存储功能，通过可编程的 LCD 控制器可进行手动预警设置，较好的传感器配置能减少产品停机时间。
耐腐蚀：可选配耐腐蚀材料，能够适应从如负载锁定和 SEM 等轻负荷用途到腐蚀性工艺等广泛的应用场景。
符合标准：符合 SEMI-S2、CE、NRTL 等标准，具有良好的安全性和可靠性。
该系列泵主要应用于半导体制造领域，如化学气相沉积（CVD）、负载锁定真空传输、蚀刻等工艺，也可用于一般真空、LED 制造、光伏等行业。
更新时间：2025-12-25 
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