真空泵有哪些类型？

在半导体制造、真空镀膜、实验室分析、航空航天等领域，真空泵是的核心设备。它不像普通水泵那样输送液体，而是通过各种原理“抽走"气体，创造并维持特定的真空环境。

从1654年奥托·冯·格里克的马德堡半球实验，到如今EUV光刻机中10^-11 Pa的超高真空，真空泵技术的每一次突破，都在推动人类工业文明的边界。

什么是真空？

在日常认知里，很多人会把「真空」理解成什么都没有的空无，但在物理学、工业制造与真空工程中，真空并不是“空"，而是一种气体压力状态。

1. 真空的严格定义

真空的标准定义非常明确：
真空，是指空间内的气体压力低于一个标准大气压（1 atm = 101325 Pa）的稀薄气体状态。
它是一个相对概念，而不是概念。
我们生活的环境是「大气压」，只要把这个空间里的气体抽走一部分、一部分、再一部分，让气体分子变少、压力变低，这个空间就进入了真空状态。

2. 真空的微观真相：永远不是“空无一物"

哪怕是目前人类能实现的等级真空，空间里依然存在气体分子，只是分子密度极低：

• 标准大气压下：每立方厘米约 2.7×10¹⁹ 个气体分子

• 低真空：分子依然很多，碰撞频繁

• 高真空：分子很少，主要和腔壁碰撞

• 超高真空：分子极少，几厘米内几乎不互相碰撞

真空的本质，就是把气体分子不断从封闭空间中移除，让气体压力持续降低的过程。
而完成这件事的设备，就是真空泵（Vacuum pump）。

3. 真空的等级划分

按照气体压力从高到低，真空通常分为 5 个等级，这也是真空泵分类、选型的核心依据：

1）低真空（Low vacuum）

• 压力范围：10⁵ Pa ～ 10³ Pa

• 特点：气体仍较稠密，分子以相互碰撞为主

• 对应泵：往复泵、液环泵、隔膜泵

2）中真空（Medium vacuum）

• 压力范围：10³ Pa ～ 10⁻¹ Pa

• 特点：气体变稀薄，开始出现分子流特征

• 对应泵：油旋片泵、罗茨泵、干式泵

3）高真空（High vacuum, HV）

• 压力范围：10⁻¹ Pa ～ 10⁻⁵ Pa

• 特点：分子极少碰撞，以自由分子运动为主

• 对应泵：油扩散泵、涡轮分子泵

4）超高真空（Ultra-high vacuum, UHV）

• 压力范围：10⁻⁵ Pa ～ 10⁻⁹ Pa

• 特点：分子密度极低，表面极干净

• 对应泵：离子泵、低温泵、溅射离子泵

5）真空（Extreme-high vacuum, XHV）

• 压力：＜10⁻⁹ Pa

• 人类实验室极限，用于粒子物理、航天环境模拟

4. 一句话总结

真空 = 低于大气压的稀薄气体空间。
真空泵 = 专门用来把气体从这个空间里移走、制造并维持真空的设备。

从工作原理上，真空泵主要分为两大类：气体输送型真空泵（Gas transfer type vacuum pump）和气体存储型真空泵（Gas storage type vacuum pump）。前者像“搬运工"，把气体从真空系统内输送到外部；后者则像“捕手"，通过吸附、冷凝等方式将气体分子“困"在泵内，从而实现真空。

下面我们就来详细拆解每一种真空泵的结构、原理和运行方式。
一、气体输送型真空泵（Gas transfer type vacuum pump）

这类泵的核心是“输送"，通过机械或流体作用，将气体从真空腔室中排出到外界，从而降低腔室内的压力。根据工作方式，又可分为容积式真空泵（Positive displacement vacuum pump）和动量传输型真空泵（Momentum transfer type vacuum pump）。

1. 容积式真空泵（Positive displacement vacuum pump）

容积式泵的原理是通过泵腔容积的周期性变化，实现气体的吸入和排出，就像我们用注射器抽气一样。它是工业和实验室中最基础、应泛的真空泵类型，其工作压力范围通常从大气压到10^-3 Pa。

（1）往复泵（Reciprocating pump）

往复泵通过活塞在气缸内的往复运动，实现气体的压缩和排出。这种结构简单可靠，维护方便，是早被广泛应用的真空泵类型之一。

• 摆动活塞真空泵（Swing piston vacuum pump）：

◦ 结构：主要由气缸、摆动活塞、偏心轮、进气阀和排气阀组成。活塞通过连杆与偏心轮连接，偏心轮旋转时带动活塞在气缸内做摆动式往复运动。

◦ 原理：当活塞向一侧摆动时，气缸容积增大，压力降低，进气阀打开，气体被吸入；当活塞向另一侧摆动时，气缸容积减小，压力升高，排气阀打开，气体被排出。

◦ 运行：通过偏心轮的连续旋转，实现活塞的往复摆动，从而持续抽气。泵腔内通常充有少量润滑油，用于密封和润滑。

◦ 特点：结构紧凑，抽气速率稳定，可达到10^-2 Pa的极限真空。

◦ 应用：常用于空调维修、小型真空包装、实验室抽滤等低真空场景。

• 隔膜真空泵（Diaphragm vacuum pump）：

◦ 结构：由泵体、弹性隔膜、驱动机构（如偏心轮或电磁装置）、进气阀和排气阀组成。隔膜将泵腔分为两部分，一侧与驱动机构连接，另一侧与气体接触。

◦ 原理：驱动机构带动隔膜往复运动，改变泵腔容积。当隔膜向一侧运动时，泵腔容积增大，压力降低，进气阀打开，气体被吸入；当隔膜向另一侧运动时，泵腔容积减小，压力升高，排气阀打开，气体被排出。

◦ 运行：通过驱动机构的连续作用，实现隔膜的往复运动，从而持续抽气。由于隔膜的隔离作用，泵腔内无需润滑油，避免了油污染。

◦ 特点：无油、无泄漏、噪音低，极限真空可达10^-1 Pa。

◦ 应用：非常适合对洁净度要求高的场景，如实验室分析、医疗设备、食品包装、气相色谱仪等。

（2）旋转泵（Rotary pump）

旋转泵通过转子的连续旋转来实现气体输送，相比往复泵，运行更平稳、噪音更低，是中低真空领域的主力。

• 液环真空泵（Liquid ring vacuum pump）：

◦ 结构：由泵体、偏心转子、叶片、液环和端盖组成。转子偏心安装在泵体内，叶片均匀分布在转子上，泵腔内充有一定量的液体（通常是水或油）。

◦ 原理：转子旋转时，叶片带动液体形成一个旋转的液环，液环与转子、叶片之间形成多个月牙形空间。当转子旋转时，这些空间的容积周期性变化，实现气体的吸入和排出。

◦ 运行：当叶片转到进气口位置时，月牙形空间容积增大，压力降低，气体被吸入；当叶片转到排气口位置时，月牙形空间容积减小，压力升高，气体被排出。液环起到密封和传热的作用，同时带走压缩产生的热量。

◦ 特点：可处理含液、含尘气体，耐腐蚀，抽气速率大，极限真空可达10^-1 Pa。

◦ 应用：常用于化工、制药行业的真空蒸馏、脱水、蒸发等工艺，以及造纸、食品加工等领域。

• 油旋片真空泵（Oil rotary vacuum pump）：

◦ 结构：由泵体、偏心转子、旋片、进气口和排气口组成。转子偏心安装在泵体内，旋片通过弹簧或离心力紧贴泵腔内壁，将泵腔分为多个独立的空间。泵腔内充有真空泵油，用于密封、润滑和冷却。

◦ 分类及原理：

◦ 旋片式油旋片真空泵（Rotary vane type oil rotary vacuum pump）：转子旋转时，旋片在离心力和弹簧力的作用下紧贴泵腔内壁，将泵腔分为两个或多个独立的空间。当转子旋转时，这些空间的容积周期性变化，实现气体的吸入和排出。

◦ 凸轮式油旋片真空泵（Cam type oil rotary vacuum pump）：通过凸轮驱动旋片，使旋片的运动更加平稳，密封性更好，适合对真空度要求较高的场景。

◦ 摆动活塞式油旋片真空泵（Swing piston oil rotary vacuum pump）：结合了活塞和旋片的优点，通过摆动活塞的运动实现气体压缩，抽气效率更高，可用于中高真空领域。

◦ 运行：当转子旋转时，旋片将泵腔分为多个空间，随着转子的旋转，这些空间的容积逐渐增大，气体被吸入；然后容积逐渐减小，气体被压缩，当压力超过排气阀的开启压力时，气体被排出。真空泵油在泵腔内形成油膜，密封旋片与泵腔之间的间隙，同时润滑和冷却泵的运动部件。

◦ 特点：极限真空可达10^-3 Pa，抽气速率从几升每秒到几百升每秒不等。

◦ 应用：实验室真空干燥、小型镀膜设备、真空热处理等。

• 罗茨真空泵（Roots vacuum pump，又称机械增压泵）：

◦ 结构：由泵体、两个“8"字形转子、同步齿轮和驱动电机组成。两个转子通过同步齿轮啮合，以相反的方向同步旋转，转子之间、转子与泵腔内壁之间保持很小的间隙（通常为0.1~0.3 mm），无接触运行。

◦ 原理：转子旋转时，通过转子与泵腔内壁之间的间隙，将气体从进气口输送到排气口。由于转子的特殊形状，泵腔被分为多个独立的空间，随着转子的旋转，这些空间的容积周期性变化，实现气体的输送。

◦ 运行：当转子转到进气口位置时，气体被吸入泵腔；当转子继续旋转，将气体输送到排气口位置，气体被排出。由于转子之间、转子与泵腔内壁之间无接触，因此运行平稳，噪音低，且无需润滑油（干式运行）。但罗茨泵本身不能单独使用，必须与前级泵（如油旋片泵）配合使用，以提供必要的预真空。

◦ 特点：抽气速率大（可达数万升每秒），压缩比高，可在10^3~10^-1 Pa的压力范围内高效工作。

◦ 应用：广泛用于半导体、镀膜、真空炉等行业，作为前级泵的增压单元，大幅提高抽气速率。

• 干式真空泵（Dry pump）：

◦ 结构：为了避免油污染，干式泵采用无油润滑设计，通过特殊的转子结构实现气体输送。常见的结构类型包括罗茨式、爪式、螺杆式、涡轮式、旋片式和涡旋式。

◦ 分类及原理：

◦ 罗茨式（Roots type）：继承了罗茨泵的高效抽气特点，通过两个“8"字形转子的同步旋转实现气体输送，无油污染。

◦ 爪式（Claw type）：由两个爪形转子啮合旋转，通过转子之间的间隙变化实现气体压缩和输送。转子之间、转子与泵腔内壁之间保持很小的间隙，无接触运行，无需润滑油。

◦ 螺杆式（Screw type）：由两个相互啮合的螺杆转子组成，转子旋转时，通过螺杆之间的间隙变化实现气体压缩和输送。螺杆转子的特殊形状可以实现多级压缩，从而提高真空度。

◦ 涡轮式（Turbo type）：结合了涡轮分子泵的高速旋转特点，通过高速旋转的涡轮叶片实现气体输送，可实现高真空。

◦ 旋片式（Rotary vane）：无油版旋片泵，通过旋片的旋转实现气体输送，适合对洁净度要求高的场景。

◦ 涡旋式（Scroll type）：由两个涡旋盘啮合旋转，通过涡旋盘之间的间隙变化实现气体压缩和输送。涡旋盘的特殊形状可以实现多级压缩，运行平稳，噪音低。

◦ 运行：干式泵的运行方式与对应的结构类型相关，例如罗茨式干式泵通过转子的同步旋转实现气体输送，螺杆式干式泵通过螺杆转子的旋转实现气体压缩和输送。由于采用无油润滑设计，干式泵的运行更加清洁，维护成本更低。

◦ 特点：无油污染，维护成本低，极限真空可达10^-2 Pa，抽气速率从几十到几千升每秒。

◦ 应用：半导体制造（刻蚀、沉积、离子注入）、真空镀膜、制药、食品加工等对洁净度要求高的行业。

2. 动量传输型真空泵（Momentum transfer type vacuum pump）

这类泵不依赖容积变化，而是通过高速旋转的叶片或高速喷射的流体，将动量传递给气体分子，从而推动气体排出。它们通常用于高真空或超高真空领域，工作压力范围从10^-1 Pa到10^-8 Pa以下。

（1）机械泵（Mechanical pump）

• 涡轮式真空泵（Turbo type vacuum pump）：

◦ 结构：由泵体、高速旋转的涡轮盘、静叶盘、轴承和驱动电机组成。涡轮盘和静叶盘交替排列，涡轮盘上有多个叶片，静叶盘上有对应的静叶片，叶片之间形成狭窄的通道。

◦ 原理：涡轮盘高速旋转（转速可达90,000 RPM），叶片将动量传递给气体分子，使气体分子沿着叶片的方向运动，从而被输送到排气口。静叶片的作用是改变气体分子的运动方向，使其继续被下一级涡轮叶片捕获，从而提高抽气效率。

◦ 运行：当气体分子进入泵腔后，与高速旋转的涡轮叶片碰撞，获得动量，沿着叶片的方向运动。静叶片改变气体分子的运动方向，使其继续被下一级涡轮叶片捕获，如此反复，气体分子被逐步输送到排气口。涡轮分子泵的抽气效率在分子流范围内（压力低于10^-3 mbar，因为此时气体分子的平均自由程远大于叶片之间的间距，气体分子的运动主要受碰撞影响。

◦ 特点：抽气速率高（可达数千升每秒），真空度可达10^-8 Pa以上，无油污染，启动速度快。

◦ 应用：半导体制造（EUV光刻、离子注入）、真空镀膜、质谱分析、粒子加速器等领域。

• 分子泵（Molecular pump）：

◦ 结构：由泵体、高速旋转的转子、静叶片和驱动电机组成。转子上有多个叶片，静叶片固定在泵体上，叶片之间形成狭窄的通道。

◦ 原理：利用高速旋转的转子，将气体分子“拖拽"到泵的出口，实现高真空。在分子流范围内（压力低于10^-3 mbar），气体分子的平均自由程远大于转子和定子叶片之间的间距，因此分子泵的抽气效率高。

◦ 分类：

◦ 涡轮分子泵（Turbo molecular pump）：常见的类型，结合了涡轮和分子泵的优点，通过高速旋转的涡轮叶片实现气体输送，抽气效率更高。

◦ 运行：当气体分子进入泵腔后，与高速旋转的转子叶片碰撞，获得动量，沿着叶片的方向运动。静叶片改变气体分子的运动方向，使其继续被下一级转子叶片捕获，如此反复，气体分子被逐步输送到排气口。

◦ 特点：极限真空可达10^-9 Pa，抽气速率从几十到几千升每秒。

◦ 应用：超高真空实验室、半导体制造、真空镀膜等。

（2）流体操作泵（Flow-operated pump）

• 喷射器（Ejector，又称真空喷射泵）：

◦ 结构：由喷嘴、吸入室、混合室和扩压段组成。喷嘴用于产生高速流体，吸入室用于吸入被抽气体，混合室用于混合高速流体和被抽气体，扩压段用于将混合气体的动能转化为压力能。

◦ 原理：通过高速喷射的流体（液体或气体），在喷嘴处形成负压，将气体吸入并排出。根据伯努利原理，高速流体的压力降低，从而产生吸力。

◦ 分类及运行：

◦ 液体喷射真空泵（Liquid jet vacuum pump）：用水或其他液体作为喷射介质，高速液体通过喷嘴喷射，在吸入室形成负压，将气体吸入混合室，与液体混合后通过扩压段排出。

◦ 气体喷射真空泵（Gas jet vacuum pump）：用压缩空气或蒸汽作为喷射介质，高速气体通过喷嘴喷射，在吸入室形成负压，将气体吸入混合室，与气体混合后通过扩压段排出。

◦ 蒸汽喷射真空泵（Steam jet vacuum pump）：用高压蒸汽作为喷射介质，高速蒸汽通过喷嘴喷射，在吸入室形成负压，将气体吸入混合室，与蒸汽混合后通过扩压段排出。可实现多级串联，达到高真空。

◦ 特点：无运动部件，结构简单，维护方便，可处理腐蚀性、易燃易爆气体。

◦ 应用：化工、制药、食品加工、石油精炼等行业的真空工艺。

• 膨胀泵（Expansion pump）：

◦ 结构：由锅炉、喷嘴、泵腔、冷凝段和排气口组成。锅炉用于加热工作介质（如油），产生蒸汽；喷嘴用于产生高速蒸汽流；泵腔用于容纳被抽气体；冷凝段用于冷凝蒸汽，回收工作介质。

◦ 原理：通过气体的膨胀和压缩实现抽气。常见的类型包括扩散泵和喷射泵的组合。

◦ 分类及运行：

◦ 膨胀喷射泵（Expansion ejector pump）：结合了膨胀和喷射的原理，通过高速流体的喷射和气体的膨胀实现抽气，抽气效率更高。

◦ 分馏油扩散泵（Fractional oil diffusion pump）：利用油蒸汽的高速喷射，将气体分子“推"到泵的出口。锅炉加热油产生蒸汽，蒸汽通过喷嘴高速喷射，在泵腔形成负压，将气体吸入。气体分子与高速蒸汽分子碰撞，获得动量，被输送到排气口。冷凝段冷凝蒸汽，回收油，实现循环使用。分馏技术可以减少油的返流，提高真空度。

◦ 自清洁扩散泵（Self cleaning diffusion pump）：通过特殊结构（如挡板、冷阱）减少油污染，适合对洁净度要求较高的场景。

◦ 特点：极限真空可达10^-6 Pa，抽气速率大，无油污染（自清洁型）。

◦ 应用：实验室真空设备、小型镀膜机、电子束焊接等。
二、气体存储型真空泵（Gas storage type vacuum pump）

这类泵不直接排出气体，而是通过吸附、冷凝、离子捕获等方式，将气体分子“存储"在泵内，从而实现真空。它们通常用于超高真空或特殊环境，且需要定期再生（释放被捕获的气体）。

1. 吸附泵（Sorption pump）

• 吸气泵（Getter Pump）：

◦ 结构：由吸气材料（如钛、锆）、加热装置和泵腔组成。吸气材料通常以薄膜或粉末的形式存在，加热装置用于加热吸气材料，使其升华或蒸发。

◦ 原理：通过吸气材料与气体分子的化学反应，将气体“吸收"到泵内。吸气材料在高温下升华，形成新鲜的吸气表面，与气体分子发生反应，生成稳定的化合物，从而将气体分子固定在泵内。

◦ 分类：

◦ 升华泵（Sublimation pump）：通过加热吸气材料使其升华，形成新鲜的吸气表面，抽气效率更高。

◦ 运行：加热装置加热吸气材料，使其升华，形成新鲜的吸气表面。气体分子与吸气表面接触，发生化学反应，被吸收到泵内。随着吸气材料的消耗，需要定期补充或更换吸气材料。

◦ 特点：无油、无振动、无噪音，极限真空可达10^-10 Pa。

◦ 应用：航天、实验室超高真空环境、电子器件封装等。

2. 吸气离子泵（Getter Ion Pump）

• 蒸发离子泵（Evaporation ion pump）：

◦ 结构：由蒸发源（如钛丝）、离子源、吸气材料和泵腔组成。蒸发源用于加热蒸发金属（如钛），离子源用于将气体分子离子化，吸气材料用于捕获离子化的气体分子。

◦ 原理：通过加热蒸发金属（如钛），形成离子化的气体分子，然后被吸气材料捕获。蒸发的金属原子与气体分子碰撞，使气体分子离子化，离子化的气体分子被吸气材料捕获，从而实现抽气。

◦ 运行：蒸发源加热钛丝，使其蒸发，形成钛原子。钛原子与气体分子碰撞，使气体分子离子化。离子化的气体分子在电场作用下向吸气材料运动，被吸气材料捕获，从而实现抽气。

◦ 特点：无油、无振动，极限真空可达10^-11 Pa。

◦ 应用：超高真空实验室、航天设备、电子显微镜等。

• 溅射离子泵（Sputter ion pump）：

◦ 结构：由阴极（钛板）、阳极、磁场线圈和泵腔组成。阴极和阳极之间施加高压，磁场线圈产生磁场，使电子在磁场中做螺旋运动。

◦ 原理：通过电场和磁场的作用，将气体分子离子化，然后被溅射的金属膜捕获。在Penning放电中，电子在磁场中做螺旋运动，与气体分子碰撞使其电离，离子轰击阴极（钛），溅射的钛原子形成新鲜的吸气膜，吸附活性气体。惰性气体离子则被电场加速，轰击阴极，被捕获在钛膜中。

◦ 运行：施加高压和磁场，电子在磁场中做螺旋运动，与气体分子碰撞使其电离。离子轰击阴极，溅射钛原子，形成新鲜的吸气膜。活性气体分子与吸气膜反应，被吸附；惰性气体离子被捕获在钛膜中。随着吸气膜的消耗，需要定期再生或更换阴极。

◦ 特点：无油、无振动、无噪音，极限真空可达10^-11 Pa，对惰性气体也有良好的抽气效果。

◦ 应用：超高真空实验室、半导体制造、航天设备、电子显微镜等。

3. 低温泵（Cryo pump）

• 低温吸附泵（Cryo sorption pump）：

◦ 结构：由低温板（通常为80K和4K两级）、吸附材料（如活性炭）、制冷机和泵腔组成。低温板通过制冷机冷却到极低温，吸附材料用于吸附难以冷凝的气体分子。

◦ 原理：利用极低温（通常为液氦温度，4K左右）使气体分子冷凝或吸附在低温板上，从而实现超高真空。对于难以冷凝的轻质气体（如氢气、氦气），则通过吸附材料（如活性炭）进行捕获。

◦ 运行：制冷机将低温板冷却到极低温，气体分子与低温板接触，被冷凝或吸附在低温板上。随着气体分子的不断冷凝和吸附，泵腔内的压力逐渐降低，实现超高真空。当低温板上的气体分子积累到一定程度时，需要进行再生，通过加热低温板释放被捕获的气体分子。

◦ 特点：抽气速率大（可达数万升每秒），无油污染，极限真空可达10^-12 Pa。

◦ 应用：半导体制造（EUV光刻、离子注入）、真空镀膜、粒子物理实验、航天模拟等领域。
三、如何选择合适的真空泵？

选择真空泵时，需要综合考虑以下几个关键因素：

1. 真空度要求

• 低真空（>10^3 Pa）：可选往复泵、液环泵、旋片泵。

• 中真空（10^3~10^-1 Pa）：可选油旋片泵、罗茨泵、干式泵。

• 高真空（10^-1~10^-7 Pa）：可选涡轮分子泵、扩散泵、喷射泵。

• 超高真空（<10^-7 Pa）：可选低温泵、离子泵、吸气泵。

2. 抽气速率

根据真空腔室的大小和漏气率，选择合适的抽气速率，确保在规定时间内达到目标真空度。例如，半导体制造中的刻蚀腔室，需要抽气速率高达数万升每秒的干式泵和涡轮分子泵组合。

3. 气体性质

• 腐蚀性气体：需选择耐腐蚀材质（如哈氏合金、PTFE涂层）的真空泵，如干式螺杆真空泵或涡旋真空泵。

• 易燃易爆气体：需选择防爆设计的真空泵，满足相应防爆等级要求。

• 含尘气体：可选择液环泵或带有粉尘处理功能的干式泵。

4. 洁净度要求

• 对油污染敏感的场景（如半导体、食品、医药），应优先选择干式泵、低温泵或离子泵。

• 实验室分析仪器（如气相色谱、质谱）通常需要无油的隔膜泵或涡轮分子泵。

5. 运行成本

• 能耗：干式泵和涡轮分子泵的能耗较高，而液环泵和旋片泵的能耗相对较低。

• 维护成本：油旋片泵需要定期更换油和滤芯，而干式泵和离子泵的维护成本较低。

• 耗材：低温泵需要定期更换吸附材料，吸气泵需要补充吸气材料。
四、主要厂商概览

1. Edwards（英国）：成立于1919年，总部位于英国克劳利，是真空和排气解决方案提供商，产品覆盖从低真空到超高真空的全系列真空泵，广泛应用于半导体、制药、工业等领域。

2. Leybold（德国）：成立于1850年，总部位于德国科隆，是真空技术领域的前辈，产品包括油旋片泵、罗茨泵、涡轮分子泵、扩散泵等，广泛应用于工业、科研和航空航天领域。

3. Pfeiffer Vacuum（德国）：成立于1890年，总部位于德国阿莎芬堡，专注于高真空和超高真空技术，产品包括涡轮分子泵、干式泵、检漏仪等，是半导体和科研领域的重要供应商。

4. Busch（德国）：成立于1963年，总部位于德国马尔堡，是真空和压缩技术提供商，产品包括液环泵、油旋片泵、干式泵等，广泛应用于食品、制药、化工等行业。

5. ULVAC（日本）：成立于1952年，总部位于日本千叶，是日本的真空设备制造商，产品覆盖从低真空到超高真空的全系列真空泵，广泛应用于半导体、电子、能源等领域。

6. 中科仪（中国）：成立于1958年，总部位于中国沈阳，是真空技术企业，产品包括干式泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，在半导体领域实现了重要突破。

7.EVP Vacuum即上海坎特真空科技，2011年成立，专注真空设备研发制造，产品线覆盖低真空至超高真空领域，主营干式泵、分子泵、扩散泵等设备，业务遍及，以高性价比与专业方案服务半导体、镀膜等多行业，是国产真空技术代表企业。