新品NFUND-71G-6.35-2是日本富士金（Fujikin）的手动超高纯金属隔膜阀

新品NFUND-71G-6.35-2（富士金 Fujikin，NEW-MEGA 系列）

一、型号解析

• NFUND：系列代号（NEW-MEGA，手动隔膜阀）

• 71G：结构规格（英制、低压、紧凑型）

• 6.35：接口通径1/4"（6.35 mm）

• 2：标准配置（双口、UJR/VCR 接口）

二、核心参数

• 阀体材质：SUS316L（电解抛光，Ra≤0.4 μm）

• 隔膜材质：镍钴合金（耐蚀、长寿命）

• 密封材质：PCTFE（标准）/PPA（高温）

• 最高压力：1.0 MPa（10 bar）

• 温度范围：-10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.3（N₂，20℃）

• 泄漏率：内漏气泡级零泄漏；外漏≤5×10⁻¹² Pa·m³/s（He）

• 接口形式：VCR 公头 1/4"（UJR）

• 清洁度：禁油（Ultra Clean）

• 操作方式：手动旋转手柄，带开闭手感反馈

三、结构特点

• 零死区（Dead Space Free）：无流体滞留死角，气置换快、残留少。

• 无颗粒（Particle Free）：金属隔膜直动，无摩擦碎屑，满足半导体严苛要求。

• 高密封：金属隔膜 + 金属垫片，氦检级密封，适配真空 / 高纯 / 特气。

• 紧凑面板安装：体积小、安装密度高，适合特气柜 / 气体面板。

• 长寿命：隔膜疲劳寿命远高于普通 MEGA 系列。

四、适用流体与场景

• 高纯气体：N₂、Ar、He、O₂、H₂

• 腐蚀性气体：HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄等

• 应用场景：半导体刻蚀、薄膜沉积、扩散、清洗机台、特气柜、气体面板、超高纯气路

• 适配制程：8/12 寸晶圆、SiC/GaN等第三代半导体

五、尺寸与重量（参考）

• 总长：约 70.6 mm

• 高度：约 53 mm

• 重量：约 300 g