油封式真空泵:包括单极油封式旋片泵如 SOGEVAC 系列,以及双级油封旋片泵如 TRIVAC B 系列。其中 SOGEVAC 系列泵本身带有防返油阀、气镇阀(选配)、出口过滤器、回油线路和油冷却回路,具有的排除水蒸气的能力、出口油雾过滤器为标准配置、真空泵油循环使用等特点;TRIVAC B 系列内置油泵,可在入口压强为大气压的情况下连续工作,还内置自动防返油阀,进气口和排气口有水平或垂直两种安装方式。
干式真空泵:如 ECODRY plus 干式多级罗茨真空泵,基于多级罗茨泵原理,两个转子朝相反方向转动,转子不会相互接触,也不与泵壳接触,可保证真空泵安静且清洁,能将气体从上部的进气法兰输送到泵室底部的排气口,多个抽气级串联布置以实现高压缩比,工作范围从中真空到大气压2。