京都玉崎 真空泵EDWARDS半导体专用干式泵
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
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京都玉崎 真空泵EDWARDS半导体专用干式泵
京都玉崎 真空泵EDWARDS半导体专用干式泵
爱德华（EDWARDS）作为真空技术领域的企业，其真空泵产品凭借清洁、高效、低耗等优势，覆盖科研、半导体、工业等多个领域。除了之前提到的部分系列，还有液环泵、磁悬浮涡轮分子泵等多个适配不同场景的系列，以下是更全面的介绍：

1. 干式涡旋泵系列

• mXDS 系列：峰值速度达 3m³/h，极限真空为 0.1mbar，重量不足 8 千克且带特制手柄，方便携带，还支持水平或垂直安装。配置气镇装置和排气阀，功率需求低，无油设计无需处理油液，搭配优化的风扇冷却，运行噪音低，mXDS3s 型号还配有电磁阀入口隔离阀和排气消音器等附件。

• nXDS 系列：泵送速度在 6 - 20m³/h，相比同类泵极限压力、功耗和噪音都更低，噪声功率仅 52dB (A)。支持全现场维修，保养间隔长达五年，搭载智能控制装置，具备宽电压输入和远程控制接口，蒸汽处理能力出色。

• XDS 系列：是干式泵送的行业标配，泵送速度达 40m³/h。其中 XDS35i 增强型采用双启动涡旋技术，初始抽空时峰值电力需求可降 20%，粗抽压力下泵送速度提升 25%，单侧涡旋设计让维护可在数分钟内完成，轴承护罩能分离工艺气体和轴承润滑。

2. 干式多级罗茨泵 nXRi 系列

   泵送速度 30 - 120m³/h，极限压力低于 0.03mbar，低压功耗约 450W，运行噪音仅 55dB (A)。机身紧凑，重量不到 30kg，可安装在台面下，节省空间。配备单相泵控制器，支持远程控制，还能通过附件连接器自动控制阀门。具备手动气镇装置，水蒸气泵送容量达 300g/h，五年免维护，是质谱分析、电子显微镜等应用的理想选择，也适配涡轮分子泵。

3. 半导体专用干式泵系列

• iXM 系列：采用 XCEDE 技术，抗腐蚀性较前代提升四倍，高效机制能减少 60% 输入功率。粉尘处理能力强，适配多层蚀刻工艺，且机身紧凑，运行时噪声和振动小，能降低化学气相沉积工艺的功耗。

• iXH 系列：适配严苛工艺环境，宽温度范围可减少冷凝和副产物累积。iXH Mk2 型号借助 XCEDE 技术增强耐腐蚀性，创新密封技术能延长制程寿命并降低泄漏风险，在恶劣工况下使用寿命长。

• iXL 系列：属于低能耗紧凑型，适配晶片处理、PVD 等轻型应用。如 iXL900R 适配真空锁室抽空，可减少泵的使用数量并降低运营成本；部分型号有 “绿色模式"，能减少闲置时的能耗。

4. 液环泵系列

   涵盖单级和两级机型，单级泵容量可达 40,000m³/h，两级泵达 7,500m³/h。其中 ELRi 系列是智能互联款，结合了爱德华多年技术积累。该系列专为加工行业严苛场景设计，可定制液环泵及混合真空系统，适配多种需要大抽量真空的工业加工场景。

5. 高真空系列

   爱德华的磁悬浮涡轮分子泵系列抽速范围 47 - 4300L/s，适配高真空需求场景。此外还有捕集离子泵、非蒸散型吸气泵等，能实现 10^-11 mbar 以下的超高真空甚高真空，常用于高能物理研究、引力波探测等科研领域，比如为 LIGO 天文台提供的 STP 磁悬浮涡轮分子泵。

6. 其他工业用泵系列

   包含干式螺杆泵、喷油螺杆泵等多种类型。例如干式螺杆泵可处理制程粉尘，适配光纤生产；油式旋转叶片泵用于散热管生产；水封泵浦则适用于矿业、纸浆和纸业等领域，部分化学干式泵还可用于蒸汽回收、灭菌等特殊工业流程。