KOFLOC质量流量控制器 高精度、高速响应
可解决所有真空方案
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KOFLOC质量流量控制器  高精度、高速响应
KOFLOC质量流量控制器  高精度、高速响应
KOFLOC 科赋乐是日本流量控制设备制造商，成立于 1958 年，专注于质量流量计和质量流量控制器等产品的研发生产。以下是其部分质量流量控制器的介绍：

• 3200 系列：是 3910 系列的后续产品，适用于新 Cofflock 标准的高性能型号。配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，可实现高精度、高速响应。采用常闭阀门，方向操作安全，隔膜阀设计则减少了死体积。流量范围为 1SCCM~20SLM，控制范围为 2%~99％（F.S.），响应速度在 1 秒内（±2％FS 内），准确性为 ±1％FS（15~35°C）。
  3660 系列：采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。通用的常闭型阀门确保了安全，使用电磁执行器保证了高效的可靠性。流量 FS（N2 换算）为 10SCCM-20SLPM，控制范围为 2%~99％，控制精度为 ±1.0% FS，重复性为 ±0.5% FS。
  EX-201SC-RJ：作为全新设计的数字式质量流量控制器，采用全新结构设计，体积小巧，尺寸为 763080 mm。支持基于 RS-485 的 Modbus RTU，采用 RJ45 接口。传感器 / 控制器 / PID 算法沿用了 DF200 系列，精度为 ±1.0% SP（＞35% FS）、0.35% FS（≤35% FS），响应时间小于 1 秒，满量程为 10SCCM - 10SLPM，支持 8 种气体切换。
  DF-550C 系列：是 DF-250C 系列的全金属型号，金属密封结构可以测量和控制半导体工艺气体和其他腐蚀性气体。通过新型螺线管改善响应速度，在所有流量区域实现 1 秒以内高速响应。流量范围为 10SCCM~10SLM，控制范围为 2%~99％（F.S.），精度为 ±1.0% F.S.，再现性为 ±0.25% F.S.。