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京都玉崎 SATOVAC佐藤真空 精密仪器
京都玉崎 SATOVAC佐藤真空 精密仪器
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 类型 | 罗茨机械增压泵 (Roots Booster) |
| 抽气速度 | 1250 / 1500 m³/h (20833 / 25000 L/min) |
| 极限压力 | 0.13 Pa (0.0013 mbar) |
| 电机功率 | 3.7 kW (2 极 / 2P, 高速) |
| 转速 | 2900 / 3500 rpm |
| 进气 / 排气口径 | VF150 |
| 润滑油 | VG200 |
| 油量 | 2.38 L |
| 最小冷却水量 | 3 L/min |
| 重量 | 约 325 kg |
| 推荐前级泵 | SB-600 (水环), KS-15 / USW-1500 (油旋片) |
超大流量,抽气
抽速高达 1500 m³/h (25,000 L/min),是SATOVAC 量产最大罗茨泵之一。专为 50–200 m³ 巨型腔体 提供极速抽气,抽气时间较中小型号缩短 70%+。
超高真空,性能
极限真空 0.13 Pa,配合前级泵可将系统真空从数十 mbar提升至亚帕级,满足半导体、航空、大型真空炉的超高真空要求。
高速高效,中高真空强
采用2 速电机,在 1–100 Pa 高真空区段效率远超标准 4 极泵,系统响应极快、压力脉动极小,适合精密工艺。
无油洁净,耐蒸汽粉尘
转子无接触、无内压缩,可耐受大量水蒸气、粉尘及弱腐蚀性气体,不易卡死。与SB 系列水环泵组合可实现全系统无油,提供洁净真空环境。
SB-600 (前级水环泵) + MB-1500ZA (增压泵)
总抽速:约 10,000 L/min → 30,000+ L/min(提升 3 倍)
极限真空:约 20 mbar → 0.13 Pa(提升 15 万倍)
适用:80–150 m³ 超大型腔体、含大量水蒸汽、24 小时连续运行
典型行业:大型化工 / 医药反应釜、中央真空系统、航空航天容器
半导体 / 电子:大型真空镀膜设备、面板产线、腔体排气系统(超大流量、超高真空、洁净无油)
化工 / 医药:巨型反应釜、连续蒸馏 / 干燥 / 浓缩生产线(耐蒸汽、大抽速、长寿命)
航空 / 航天:大型航天器 / 容器检漏、高空环境模拟(高稳定性、极限真空)
建材 / 轻工:超大板材 / 复合材料真空成型、树脂脱泡(快速、重载、连续)
中央真空系统:整厂 / 整车间大型真空供应站(多工位、大流量、稳定可靠)
选 MB-1500ZA:腔体 ≥ 50 m³、要求 < 1 Pa 超高真空、抽气时间极短、含大量蒸汽 / 粉尘、24h 连续 的超大型工况。
对比 MB-600ZA:抽速是 MB-600ZA 的 2.5 倍,专为更大腔体设计;MB-600ZA 更适合 30–80 m³ 中型系统。