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京都玉崎 SATOVAC 佐藤真空 精密仪器
京都玉崎 SATOVAC 佐藤真空 精密仪器
型式：小型油扩散真空泵（经济型）
公称抽速：150 L/s
极限真空：7.5×10⁻⁴ Pa
加热功率：600W
电源：单相 AC100V
泵油量：75 ml
冷却水量：0.5 L/min
进气法兰：VF-65 / KF65
本体重量：6.8 kg
适配前级泵：DW-90 / USW-500N / KS-100 等
| 型号 | 抽速 | 极限真空 | 加热功率 | 定位 |
|---|---|---|---|---|
| SDP-3A | 150 L/s | 7.5×10⁻⁴ Pa | 600W | 经济型、中流量、通用高真空 |
| SDP-3 | 280 L/s | 1×10⁻⁵ Pa | 650W | 高性能、大流量、超高真空 |
SDP-3 简化版：喷嘴级数减少、成本更低
抽速适中：比 SDP-2 大、比 SDP-3 小，适配中等腔体
稳定耐用：铸铁本体、无运动部件、故障率低
必须配套：前级泵 + 水冷 + 冷阱（防油返流）
实验室真空系统、材料脱气
小型镀膜、真空干燥
电子器件真空制程
对真空度要求10⁻³~10⁻⁴ Pa 的通用设备
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