DIC迪爱生全氟 PTFE 耐腐蚀脱气膜
PF：内灌流结构（液体走中空纤维内腔，壳程抽真空）；
13：中大流量规格，膜面积大于 PF-10F；
F：全氟 PTFE 接液材质，耐强酸、强碱、有机溶剂，腐蚀药液专用款；
衍生款PF-13F(T)：低阻改良型，流量上限扩容至 500mL/min、管路压损更低。

一、型号释义

二、核心技术参数

1. 额定处理流量：标准 PF-13F：1～300mL/min（0.06～18L/h）；PF-13F (T) 低压款：1～500mL/min

2. 承压参数：液侧 / 真空侧最高耐压 0.294MPa，常规推荐使用≤0.2MPa

3. 使用温度：5℃～40℃

4. 接口规格：液体口 1/4 寸超级柱快插；真空口 Rc1/8 内螺纹

5. 外形尺寸：Φ102mm×260mm，内容积约 300mL

6. 有效膜面积：3.0㎡，脱气残氧≤100ppb，常温纯水工况脱气效率≥85%

7. 接液材质：中空纤维 PTFE 膜、壳体 + 密封圈全氟 PFA，全程无金属接触药液

三、产品简介

四、产品优势

1. 全氟耐化：全 PTFE/PFA 接液，兼容、各类强酸强碱、IPA、酮酯、光刻胶、显影 / 剥离液，D 型聚烯烃膜无法适配的腐蚀工况。

2. 脱气 / 溶气两用：壳侧抽真空除 O₂、CO₂；外接氮气 / 二氧化碳气源可对药液定量溶气，配置功能性工艺试剂。

3. 内灌流易清洗：液体从膜丝内部流通，杂质不易堵膜，反向通入溶剂即可在线清洗，免拆机维保，适配含微量悬浮物油墨、粘稠光刻药液。

4. 高纯洁净无析出：无金属离子、塑胶助剂析出，满足半导体芯片、面板高纯化学品制程，立式 / 卧式均可狭小空间安装。

PF-13F (T) 改良版：优化内部流道，同等流量下压损降低 35%，适合大流量、低泵压工况使用。

五、应用领域

1. 半导体 / 显示面板：中大流量蚀刻液、光刻胶、剥离液、显影液在线脱气，杜绝涂布针孔、线路断线不良；

2. 工业喷墨：中高流量溶剂型、UV 工业墨水连续脱泡，防止喷头堵孔、间断出墨；

3. 分析仪器：制备色谱、大流量 HPLC 流动相除气，稳定检测基线、消除气泡干扰；

4. 精细化工 / 医药：腐蚀性原料药、有机溶剂除氧，延缓药剂氧化变质。