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MIYUKI美幸辉 真空蝶阀B-J
MIYUKI美幸辉 真空蝶阀B-J
B:标准两位 ON/OFF 隔断阀(本次介绍款)
BH:双气缸两段式(0° 全关 + 45° 慢开 + 90° 全开,缓抽防冲击)
BAR/BAZ:电动直驱 / 伺服调节蝶阀(连续调压,无通断功能)
B:单气缸两位气动通断蝶阀
法兰字母代码
N:KF/NW 快装法兰(实验室、小型腔体)
J:JIS 日标法兰(半导体设备标配)
I:ISO-F 大法兰(大流量镀膜、锂电炉)
C:CF 刀口金属法兰(超高真空、可烘烤)
末尾数字:公称通径 DN25~DN400
示例:
B-N63:KF63 快装两位气动蝶阀
B-J100:JIS100 法兰标准隔断阀
B-I250:ISO250 大口径主管切断阀
B-C80:CF80 超高真空烘烤隔断阀
超薄阀体,大通导
阀体面间距极短,同等口径流导远优于闸阀 / 角阀,缩短腔体抽气时间;无介质流向限制,水平、垂直任意角度安装。
齿轮齿条气动执行器,耐用低冲击
内置末端气垫缓冲,启闭无撞击;气缸小、输出扭矩大,密封压紧可靠;标准寿命≥100 万次循环,洁净室组装出厂。
超低泄漏洁净真空级密封
全关软密封隔绝腔体与管路,氦检达标半导体无尘产线要求;阀体、蝶板 SUS304 镜面电解抛光,低放气、低发尘。
极简两位逻辑,适配自动化 PLC
仅开 / 关两个状态,选配到位反馈微动开关(NPN/PNP),信号直连设备控制器,无需复杂调节程序。
宽工况通用
常压至高真空通用,标准氟橡胶密封适配绝大多数惰性、常规工艺气体,耐腐蚀工况可升级全氟醚 Kalrez 密封圈。
阀体内漏:≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
阀杆轴封外漏:≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
过流部件(阀体、蝶板、阀杆):SUS304 不锈钢镜面抛光
标准密封:FKM 氟橡胶 O 圈;可选 Kalrez 全氟醚(耐强腐蚀、150℃烘烤)
阀体最高烘烤温度:150℃(气缸不可烘烤,环境温度≤40℃)
介质适用温度:-25℃~120℃(FKM)/-30℃~150℃(Kalrez)
气源:洁净无油干燥压缩空气,压力0.4~0.6MPaG
执行器:单作用 / 双作用气缸可选,标准双作用
KF(N):DN25/40/50/63/80/100/160/200/250
JIS(J):DN25~DN350
ISO(I):DN25~DN400
CF (C):DN25~DN150(CF 无超大口径)
电气反馈:开 / 关到位微动开关(NPN/PNP 有源信号)
密封升级:Kalrez 全氟醚密封(含氟、强酸、高温工艺)
气缸选型:单作用弹簧复位(失气自动关阀,安全腔体)/ 标准双作用
电磁阀成套:配套 DC24V 两位五通真空专用电磁阀
防腐处理:阀体电解抛光强化、特殊气体钝化处理