MIYUKI美幸辉 真空蝶阀BH-J
BH 是美幸辉双气缸两段式三工位气动蝶阀，核心解决精密腔体气流冲击、膜层损伤、物料飞溅问题；单阀集成慢抽 / 慢破空 + 快速大通流，无需额外旁路针阀，简化真空管路，是半导体、光学镀膜、锂电真空工艺标配阀款。

一、产品定位

• B 系列：单气缸、仅全开 / 全关，纯隔断通断

• BH 系列：双气缸、三档位（全关→0~45° 慢开度→90° 全开），快慢分段充排气

• BAR/BAZ：电动连续调节，用于稳态压力 PID 调压

二、型号完整命名规则

命名格式：BH - 法兰代码 + 通径

1. BH：两段双气缸快慢动作气动蝶阀

2. 法兰代码

• N：KF/NW 快装法兰（小型腔体、实验室）

• J：JIS 日标法兰（日系半导体 / 镀膜设备主力）

• I：ISO-F 大法兰（大流量蒸镀、锂电炉主管）

• C：CF 刀口金属法兰（超高真空、可烘烤无油腔体）

3. 数字：公称通径 DN

   示例：

• BH-N63：KF63 两段缓抽阀

• BH-J100：JIS100 日标两段蝶阀

• BH-I250：ISO250 大口径快慢抽气阀

• BH-C80：CF80 超高真空可烘烤款

三、三段动作原理（核心优势）

1. 0° 全关：隔断腔体与管路，零泄漏保压

2. 0~45° 可调慢开段：前端旋钮无级微调慢开角度，小通流缓慢抽真空 / 缓慢破真空，缓冲气流冲击，保护晶圆、镀膜层、锂电电解液

3. 90° 全开：大通导快速抽气 / 快速破空，缩短工艺节拍

优势：单阀替代「切断阀 + 旁路微调针阀」双阀方案，减少管路接头、降低泄漏点、节省设备安装空间。

四、核心结构与产品特点

1. 双气缸齿轮齿条驱动，带末端气垫缓冲

   气缸体积小巧、启闭推力充足；行程终点内置气缓冲，无撞击噪音，延长密封寿命，循环寿命≥100 万次。

2. 超薄阀体、超高流导

   同口径阀体厚度远薄于闸阀，通流能力强，抽气效率高；无流向限制，水平 / 垂直任意角度安装。

3. 洁净低发尘真空级构造

   阀体、蝶板、阀杆 SUS304 镜面电解抛光，低放气；无尘室组装出厂，适配 Class100/1000 洁净产线。

4. 三档位独立电气反馈

   标配三组微动开关，分别输出「全关到位、慢开到位、全开到位」NPN/PNP 信号，直连设备 PLC 精准时序控制。

5. 宽工况密封选配

   标准 FKM 氟橡胶；强腐蚀卤素等离子、高温工艺可升级 Kalrez 全氟醚密封圈。

五、通用技术参数

1. 真空压力范围

2. 氦检泄漏标准

• 阀体内漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

3. 材质与耐温

• 介质接触件：SUS304 不锈钢镜面抛光

• 标准密封：FKM（-25~120℃）；可选 Kalrez（-30~150℃）

• 阀体烘烤上限：150℃（气缸驱动头环境≤40℃，不可烘烤气缸）

4. 气动驱动条件

• 气源：洁净无油干燥压缩空气，压力 0.4~0.6MPa

• 驱动：标准双作用双气缸；可选单作用弹簧复位（失气自动全关，安全腔体）

5. 全口径覆盖

• KF(N)：DN25/40/50/63/80/100/160/200/250

• JIS(J)：DN25~DN350

• ISO(I)：DN25~DN400

• CF (C)：DN25~DN150（CF 无超大口径）