MIYUKI美幸辉 真空蝶阀 G系列
G 系列是纯气源驱动伺服调节型真空蝶阀，区别 B/BH 纯通断两段气动阀、BAR/BAZ 电机直驱电动调节阀；依靠精密气动伺服气缸 + 内置阀位反馈

一、产品定位

1. B 系列：单气缸两位气动，仅全开 / 全关（隔断通断）

2. BH 系列：双气缸两段气动，全关 + 慢开 + 全开（快慢缓抽）

3. G 系列：气动伺服无级调节，0~90° 任意开度锁定

4. BAR/BAZ/GAR：DC24V 电机直驱电动伺服调压

二、完整型号命名规则

1. G：气动伺服连续调节蝶阀

2. 法兰代码

• N：KF/NW 快装法兰（DN25~250 小型腔体）

• J：JIS 日标法兰（半导体、镀膜主力，DN25~500）

• I：ISO-F 大法兰（锂电、大型蒸镀，DN25~500）

• C：CF 刀口金属法兰（超高真空可烘烤，DN25~150）

3. 数字：公称通径 A（DN）

   示例：

• G-J100：JIS100 气动伺服调节蝶阀

• G-I300：ISO300 大口径气源调压阀

• G-N63：KF63 小型腔体气动伺服阀

• G-C80：CF80 超高真空可烘烤气动调节阀

三、核心工作原理（气动伺服闭环）

1. 外部接入气动伺服比例阀（配套原厂气控单元），输入 0~10V 模拟信号转换为气压指令；

2. 阀头内置高精度角位移传感器实时采集蝶板实际开度；

3. 气缸内置差动气室，根据反馈气压自动修正输出推力，全程闭环，任意 0~90° 开度稳定锁止无漂移；

4. 行程末端自带气垫缓冲，微小开度气流线性平稳，无冲击波动。

四、核心产品优势

1. 气源驱动，无电机发热，适配高温腔体周边

   无电气马达，无温升干扰；气缸耐环境温度优于电动款，适合炉体、烘烤设备旁安装。

2. 全行程无级连续调节，微小开度高精度节流

   0.1° 级开度分辨，小流量载气、微量抽气稳压稳定，解决大口径阀门微调压波动问题。

3. 超薄阀体、超大流导

   同口径面间距短，流阻极低，大腔体抽气节拍更快；无介质流向限制，水平 / 垂直任意安装。

4. 洁净低放尘真空构造

   阀体、蝶板、阀杆 SUS304 镜面电解抛光，无尘室装配；无内部金属摩擦滑动件，颗粒析出极低，满足 Class100 洁净室。

5. 反压密封强化结构

   蝶板采用多点球面压紧机构，正 / 反向真空压差下密封均匀，保压性能优于普通气动蝶阀。

6. 断电断气可选安全配置

   可选弹簧复位气缸：断气自动全关腔体，适配危险工艺、贵重晶圆腔体安全联锁。

五、标准技术参数

1. 真空压力区间

2. 氦检泄漏指标

• 阀座内漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外漏：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s（优于 B/BH 系列）

3. 材质与耐温

• 过流部件：SUS304 不锈钢镜面抛光

• 标准密封：FKM 氟橡胶（-25℃~120℃）；可选 Kalrez 全氟醚（耐卤素、强酸、150℃烘烤）

• 阀体烘烤上限：150℃；气动执行器环境温度≤50℃

4. 气动驱动条件

• 工作气源：洁净无油干燥压缩空气 0.4~0.6MPaG

• 控制信号：配套气控单元接收 0~10V 模拟电压开度指令

• 全行程动作时间：0.8~1.5s，可调阻尼减速

5. 完整口径覆盖

• KF(N)：DN25/40/50/63/80/100/160/200/250

• JIS (J)/ISO (I)：DN25~DN500（行业最大口径真空伺服蝶阀）

• CF(C)：DN25/40/50/63/80/100/150

六、可选配套与选配功能

1. 气控伺服单元（必配）

   原厂比例伺服气控盒：0~10V 模拟输入，阀位 0~10V 反馈，支持 PLC 闭环 PID 稳压；带 RS485 通讯款可接入上位机。

2. 阀位电气反馈

   4~20mA/0~10V 连续开度模拟信号输出，实时上传腔体控制系统。

3. 安全气缸

   单作用弹簧复位型：失气自动全关，防止腔体泄压损坏工件。

4. 密封升级

   Kalrez 全氟醚密封圈，适配等离子、氟化物、强腐蚀特种工艺气体。

5. 成套气源附件

   气源调压过滤器、两位五通电磁阀、消音器、快插气管。