EBARA 干式真空泵 EST 系列是基于螺杆泵技术的无水冷却型真空泵，适用于处理反应副产物和大容积腔室的快速抽气
。
以下是其详细介绍：
适应高温环境：配备高温运行功能，可将泵内气体维持在高温状态，防止反应副产物冷凝，适用于化学气相沉积（CVD）等会产生反应副产物的工艺。
抽气性能较好：采用螺杆式转子，标准配置耐腐蚀材料，能实现高排气速度和大抽气量，有助于提高工艺效率，减少停机时间。
电源适应性强：不受频率（50/60Hz）影响，可提供相同的抽气性能。
符合相关标准：具备 CE 认证、SEMI-S2 标准认证和 NRTL 认证。
主要应用于半导体制造中的原子层沉积（ALD）、快速热加工（RTP）、低压化学气相沉积（LPCVD）等工艺，也可用于光伏、化学等行业中需要处理粉状、腐蚀性气体的场合。
更新时间：2025-12-25 
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