EBARA 干式真空泵ESA系列的核心特点以及关键技术参数

核心特点

1. 轻气与大腔双适配：抽速覆盖 1400–10000 L/min（轻气型，如氢气）和 20000–80000 L/min（大腔快速抽气型），兼顾两种核心需求。

2. 智能调速与高负载适配：转子转速智能控制，可灵活匹配气体流量，应对高气体负载；大直径转子设计，设备紧凑，占地小。

3. 耐腐蚀与定制化强：轻气型可选增强耐腐蚀配置，适配 MO - CVD 等工况；大流量型号可选有机溶剂专用排气配置。

4. 智能监控与合规：配备 LCD 控制器，可编程报警设置，支持报警历史存储；具备 SEMI - S2、CE、NRTL 认证，适配半导体等较好制程。

5. 低噪低振：大流量型号运行安静、振动小，便于系统集成与工厂环境维护。

关键技术参数

典型应用

• 轻气型（如 ESA15 - D、ESA25 - D、ESA70W）：以 MO - CVD 为主，适配光伏、半导体领域的氢气等轻气体抽气场景。

• 大流量型（如 ESA200W - ESA700W）：适配 LCD 溅射设备、真空干燥、大型负载锁定腔室、光伏与平板显示行业的大容积腔室快速抽气。