EBARA 干式真空泵EV-SA系列的核心特点以及关键技术参数

核心特点

• 可以空冷免维护：无需冷却水，仅需电源即可运行，安装自由度高；非接触式转子设计，低维护、无油污染，适配清洁真空环境。

• 轻量高效：小型轻量化，运行噪音低；50/60Hz 电源下性能一致，适配不同地区电网。

• 合规适配性强：具备 SEMI-S2、CE、NRTL 认证，可满足半导体与实验室的合规要求。

• 低能耗低成本：怠速模式智能适配负载，降低运行能耗，适合长期连续运行场景。

关键技术参数

典型应用

• 分析仪器：电子显微镜、质谱仪、X 射线光电子能谱（XPS）等对真空洁净度要求高的设备。

• 实验室与研发：半导体前道的轻负载锁腔、表面分析、材料研发等低气体负载工艺。

• 工业清洁抽气：光伏 / 平板显示行业的小型腔室、真空干燥等无腐蚀性副产物的工况。