日本ULVAC爱发科 真空泵（高真空）
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
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产品特点

• 全真空范围覆盖能力：从 VDN 系列的 10⁻²Pa 级粗真空，到离子泵的 10⁻⁹Pa 级超高真空，可适配从食品包装到量子计算的全场景需求。

• 工况适应性强：部分干泵的转子和腔体采用氮化硅涂层，可耐受 HCl、H₂SO₄等强腐蚀性气体；针对高温工艺，一些型号通过优化冷却系统，可稳定处理 200℃以上的工艺尾气。

• 智能化与节能革新：部分型号采用变频驱动技术，在极限压力下功耗大幅降低，较传统机型节能 30% 左右；集成传感器实时监测油温、振动等参数，通过 AI 算法提前预警故障，平均时间延长至 8000 小时以上。

• 模块化与易维护性：一些系列采用模块化结构，油窗、滤芯等易损件可在较短时间内完成更换，降低了停机成本。

应用领域

• 半导体制造：为芯片刻蚀、镀膜等工艺提供真空环境，如 MS 系列干泵可在 5nm 芯片刻蚀工艺中稳定处理 CF₄等离子体，颗粒过滤效率达 99.99%。

• 氢能与燃料电池研发：用于储氢材料分析和燃料电池生产，如 MS 系列螺杆干泵可用于电极干燥和真空注液工艺，确保电池组件的一致性。

• 量子计算与精密科学：为量子比特稳定性研究和低温超导系统提供超高真空环境，如与 IBM 合作开发的单原子缺陷检测平台，利用离子泵技术实现 10⁻⁹Pa 级超高真空环境。

• 化工与新能源材料：在锂电池生产中，LS 系列干泵可高效排出电极制造中的金属碎屑，MS 系列螺杆泵适用于电解液注液环节；在化工反应工艺中，DTC 系列隔膜泵可处理强腐蚀性气体。

• 医疗与生物制药：用于药品冻干和医疗器械制造，如 DFB 系列冻干机结合 μPD 微粉干燥技术，可将液态药物转化为高活性球形颗粒，适用于 mRNA 疫苗等生物制剂生产。