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KASHIYAMA柏山 优势品牌
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Kashiyama 樫山工业是日本一家专业研发、制造真空泵及相关设备的企业。其真空泵产品类型丰富,性能可靠,广泛应用于半导体、化工、食品等多个领域。以下是其主要产品介绍:
干式真空泵:
Kashiyama 真空泵SDE 系列:属于重型真空泵,有不同的型号和规格,适合于复杂工艺流程,可支持高颗粒负载、腐蚀性化学物质和高工艺气体流量。SDE 标准泵为 2 级和 3 级单元,抽速为 20,000L/min 至 190,000L/min。
Kashiyama 真空泵MU-X 系列:为水式真空泵,适用于较大的负载锁定、传输和轻型工艺应用。该系列有 6 种型号,抽速为 1660L/min 至 30,000L/min,基本压力为 11 毫托至 3 毫托。
MU-P/H 系列:同样是水冷式,与 MU-X 系列相比,能承受更高的温度和更多的吹扫气体,适用于中等工艺。抽速范围为 1660L/min 至 30,000L/min,基本压力在 37 毫托至 3 毫托之间。
NeoDry E 系列、NeoDry G 系列:属于小型风冷型真空泵,适合于复杂工艺流程。该系列在同类风冷多叶泵中处于行业地位,有 6 种型号,抽速为 110L/min 至 1666L/min,基本压力为 7.5 毫托。
水封式真空泵:包括 LEH 系列和 LEM 系列,排出含有水蒸气和水滴的气体,具有噪音低、振动小、可承受连续运转且便于维护等特点。
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