日本Ebara 京都玉崎 华南一级代理
可解决所有真空方案
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工作原理

产品特点

• 高效节能：采用优良的螺杆转子技术和优化的模块化设计，提高了抽气效率，降低了能耗。如 EV-M 型和 EV-X200N 型号，均具备低能耗、轻量化和小型化的特点。

• 耐腐蚀性强：采用标准耐腐蚀材料制造，能耐受腐蚀性气体。例如 EST25N 型号专为应对 CVD 等工艺中产生的化学副产物而设计，可保持泵内气体高温，防止腐蚀性物质凝结。

• 智能控制：部分型号具备智能控制功能，可根据工艺需求自动调整抽气速率，并通过通信功能与中央控制系统连接，实现远程监控和数据传输。

• 清洁无油：属于无接触真空泵，无需使用油或液体进行密封，能实现清洁真空，避免了水和油的回流或扩散，无需定期补充或更换水、油，维护方便。

产品系列

• EV-X 系列：具有低能耗、占地小的特点，通过大幅的温度控制可实现大范围的工艺覆盖，能耐受腐蚀性气体，适用于各种蚀刻以及 CVD、灰化、离子注入等工艺。

      EV-S 系列：是低功耗、小体积的干式真空泵，具有耐腐蚀材料选项和氮气吹扫型号可选，适用于从负载锁定和扫描电镜等轻负载过程到腐蚀性过程的广泛应用。
      ESA 系列：适合抽取氢气等轻气体，以及大容量室的快速抽气，在 LCD 溅射、真空干燥、大型 load-lock 等需要高速抽气的场景表现出色。
      EST 系列：采用螺杆式转子，配备高温运行功能，可将泵内气体保持在高温，适合处理 CVD 等工艺中产生的反应副产物，具有高排气速度和大抽气量。
      ESR 系列：为罗茨式真空泵，可选配适用于腐蚀性气体的配置，采用新微处理器技术，具有泵速控制功能和优良的数据存储能力，适用于从轻制程 load locks、SEM 到各类腐蚀性的工艺等。

应用领域