日本EBARA 废弃处理设备
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
热门爆款

日本EBARA 废弃处理设备
日本EBARA 废弃处理设备

产品特点

• 处理气体种类广泛：能处理温室气体（如 PFCs 气体）、有害气体、可燃气体和有气味气体等多种废气。

• 处理方式多样：拥有燃烧式、干式、催化式和湿式等多种处理方式，可根据不同的废气类型和处理需求进行选择。

• 高效性：对温室气体等的处理效率高，能有效分解和去除废气中的有害物质。

• 安全性高：设备具备*的安全措施，可确保在处理废气过程中不会发生安全事故。

• 维护方便：通过对反应副产物的有效处理，减少了设备维护的频率和难度，降低了维护成本。

• 紧凑设计：采用紧凑的结构设计，占用空间小，可实现即装即用，无需复杂的安装和调试过程。

主要产品型号

• G5 系列：是燃烧式废气处理装置，处理方式为燃烧式 + 湿式，可批量处理多种气体，能高效处理 PFCs 气体等。该系列有不同型号，以 G5-350 A1~A4/P1~P4 为例，其进气量为 350 升 / 分钟，可处理的气体包括 SiH4、PH3、NF3、ClF3、HBr、Cl2、CF4 等，设备尺寸为 1200mm×650mm×1900mm。

      G-WS 型：属于湿式废气处理系统，可低成本处理水溶性气体，如 NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF 和 HCl 等。该设备采用独特的副产物处理措施，实现了长期维护周期，且维护空间仅在设备前方，布局灵活。
       LPCMN 型：是基于燃烧的废气处理系统，采用双级燃烧器，可使 CF4 等难分解气体的破坏去除效率超过 95%，并减少副产物附着和 NOx/COx 排放。其高度约为 previous models 的 50%，节省空间，还提供氢气燃料选项，最大进气量为 600L/min。