原装日本ULVAC 京都玉崎
可解决所有真空方案
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部分型号大量现货
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原装日本ULVAC 京都玉崎
原装日本ULVAC 京都玉崎

• 干式真空泵

• LS 系列：具有高抽速、低功耗的特点，有 4 种不同抽速可供选择，抽速范围为 120-1200m³/h，可根据不同应用场景进行选型。

             LR/HR/UR 系列：ULVAC 独特地利用泵体内产生的热量，使该系列泵能在最严苛的工艺中运行。LR 系列适用于负载锁定或物理气相沉积（PVD）工艺，HR 系列适用于化学气相沉积（CVD）和蚀刻工艺，UR 系列则适用于需要加热泵、加热气体管道和 / 或加热排气管的应用。
             CR 系列：是优良的风冷式罗茨型干式真空泵，泵头无油，转子与气缸无接触，运行稳定，使用寿命长，总拥有成本低。它无需冷却水或氮气，运行成本低，且符合 CE 和 cTUVus 标准。
油旋片真空泵

• VD/VDN 系列：是由 ULVAC 自主开发的直接驱动式油旋片泵，配备高效（IE3）多电压电机，双级旋片机械真空可实现较低的极限压力。

VS/VSN 系列：是单级旋片式油旋片真空泵，采用直接驱动电机，设计简洁，重量轻、体积小，振动和噪音低，可在全压力下连续运行，维护方便。
GLD 系列：直接驱动旋片泵，抽速范围为 48-336L/min，具有低振动、低噪音的特点，内置防油回流装置，配备大尺寸易读油位计，适用于化学分析、激光系统、电子显微镜等多种场景。
油扩散泵：通过加热油产生油蒸气，油蒸气高速喷射与气体分子碰撞，将气体分子带向排气口从而形成真空，能实现 10^-7Torr 到 10^-9Torr 的高真空，成本较低，结构简单，性能稳定，广泛应用于半导体制造、金属加工等领域。如 PFL 型是基于丰富经验设计制造的，ULK 型是小型化高真空排气泵，PBL 型在中真空领域可提高排气速度。
机械增压泵：如 PRC 系列、PMB-D 系列和 PMB-C 系列，可与干式真空泵、油旋片真空泵或水环真空泵一起使用，能在 10kPa 至 0.1Pa 的范围内提高抽速，弥补前级泵在该压力范围内抽速下降的不足。其中 PMB-D 系列是一种广泛使用的机械增压泵，配备多电压电机（高效），可根据使用条件选择风冷方式，还可选择表面处理和大气运行类型。