京都玉崎 华南一级代理 EBARA
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
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干式技术：采用非接触式密封技术，无需用油或液体密封，能实现清洁真空，避免油和水的回流或扩散，符合半导体制造、食品加工等对洁净度要求高的场景需求。

耐腐蚀性强：泵体采用全密封结构，如陶瓷涂层、不锈钢材质等，防止润滑油进入泵腔。部分泵体经过特殊防腐处理，如镀镍或 PTFE 涂层，能耐受酸性气体和有机溶剂。

智能控制：集成变频调速系统，可根据负载动态调节电机功率，能耗降低 20% 以上。同时，传感器实时监测温度、振动等参数，结合物联网技术实现远程故障预警和维护提示。

模块化设计：支持多级串联或并联，抽速范围覆盖 10–1000m³/h，可适配不同真空需求。部分型号还具有快速拆卸设计，更换核心部件耗时缩短至 2 小时内，减少停机损失。

产品类型：

EV-PA 型：超紧凑型风冷干泵系列，无油、高效节能且无年度维护要求，重量仅 9 千克，适合小型台式机或移动系统，用于负载锁、电子显微镜等轻型应用。

半导体制造：在晶圆加工、薄膜沉积、蚀刻、离子注入等工艺中广泛应用，为相关设备提供洁净、稳定的真空环境，确保工艺精度和产品质量。

制药行业：用于药品干燥、蒸馏和包装等环节，避免油污染对药品质量的影响，保证药品的安全性和有效性。

化工行业：适用于腐蚀性气体或易凝结气体的抽除，能满足化工生产中真空蒸馏、真空干燥等工艺的特殊需求。

食品加工：在食品包装和脱气过程中，可确保食品的安全和卫生，延长食品的保质期。

科研领域：用于实验室的高真空实验，能提供无污染的真空环境，满足科研实验的高精度要求。