京都玉崎 华南一级代理 EBARA 废弃处理设备
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G5 系列燃烧式废气处理器：是一种燃烧式废气处理系统，可高效处理多种气体，能一次处理多种气体，还可高效处理通常难以处理的 PFC 气体。该系列有 G5-350、G5-500、G5-600、G5-1200 等型号，进气量范围为 350-1200 升 / 分钟，处理方法为燃烧 + 湿式，燃料可选择城市燃气或丙烷气，可处理 SiH4、NF3、HBr、CF4 等多种气体，适用于半导体、液晶面板等电子元件制造及化学、材料制造商等场所。

G6 系列燃烧式废气处理器：属于大流量燃烧废气处理系统，进气量约为传统型号的 3 倍，还可处理高发热的大流量氢气。该系列有 G6 A1~A4、G6 P1~P4 等型号，最大进气量为 1200 升 / 分钟，处理方法为燃烧 + 湿式，G6 A1~A4 型号燃料为城市燃气，G6 P1~P4 型号燃料为丙烷气，可处理 AsH3、Si3H8 等气体，应用领域与 G5 系列类似。

催化剂式小型臭氧尾气破坏器：通过催化剂表面与臭氧发生氧化还原反应，促使臭氧分解为无害的氧气。其具有小型化设计的特点，能在有限空间内实现高效的臭氧分解，特别适用于半导体工厂中占地有限的生产线，可高效处理臭氧水机产生的臭氧尾气，防止有害气体排放。