EBARA真空设备 华南一级代理 京都玉崎
可解决所有真空方案
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EBARA真空设备 华南一级代理 京都玉崎
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• 产品特点

• 无油清洁：采用非接触式密封技术，无需使用油或液体进行密封，能实现清洁真空，避免油和水的回流或扩散，适用于对真空环境要求较高的场合，如半导体制造、制药等领域。

• 节能高效：优化的转子设计，提高了压缩效率，降低了功耗。部分型号还具备怠速模式，可进一步节省能源。

• 小巧轻便：具有小型轻量化的设计特点，占用空间小，便于安装在有限的空间内，一些型号易于搬运，适合需要多次移动的应用场景。

• 低噪音振动：运行时噪音和振动水平较低，能为用户提供较为安静的工作环境，同时也有助于设备的稳定运行和延长使用寿命。

• 智能控制：具备的控制管理功能，如数据保存、警报履历备份等，部分型号还可通过可编程的 LCD 控制器进行手动预警设置，方便用户监控和管理设备。

• 产品系列

• EV-PA 型：超紧凑型风冷干泵系列，无油、高效节能且无年度维护要求，重量仅为 9 千克，适合小型台式机或移动系统，用于负载锁、电子显微镜等轻型应用。

• EV-A 型：风冷干式真空泵系列，采用非接触式多级根部设计，可可靠地产生无颗粒真空，适用于对真空性能和正常运行时间要求较高的负载锁、分析仪器等。

• ESA 系列：涵盖了从 88 到 1765CFM 的广泛抽速范围，主泵由耐腐蚀性优异的 NiResist 制成，适合抽取氢气等轻气体，以及大容量室的快速抽气。

• EV-M 型：专为苛刻的过程应用而设计，具有独特的温度控制和按需转矩运行能力，泵速从 2000Lit/min 到 80000Lit/min，能效较高。

• ESR 型：多级干式真空泵，是节能型罗茨泵，适用于从清洁到中负荷的工艺，泵速范围从 35 到 1625CFM，极限压力低至 1mTorr。

• 应用领域

• 半导体制造：用于晶圆加工、薄膜沉积、蚀刻等工艺，确保高洁净度的真空环境，满足半导体制造对洁净度的严苛要求。

• 制药行业：应用于药品干燥、蒸馏和包装等环节，避免油污染对药品质量的影响。

• 化工行业：适用于腐蚀性气体或易凝结气体的抽除，满足化工生产中的特殊需求。

• 食品加工：在食品包装和脱气过程中，确保食品的安全和卫生。

• 科研领域：用于实验室的高真空实验，提供无污染的真空环境。