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EBARA燃烧式废气处理器 环保、能源、电子
  • 产品型号:G6-E-A2
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-07-27
  • 访  问  量:112
简要描述:

EBARA燃烧式废气处理器 环保、能源、电子
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
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产品详情

EBARA燃烧式废气处理器 环保、能源、电子
EBARA燃烧式废气处理器 环保、能源、电子
EBARA 废弃处理设备种类丰富,涵盖废气、废水、固体废弃物等多种类型废弃物的处理,凭借高效、环保等特点,广泛应用于环保、能源、电子等多个领域。以下是其部分设备介绍:

  • G5 系列燃烧式废气处理器:是一种燃烧式废气处理系统,可高效处理多种气体,能一次处理多种气体,还可高效处理通常难以处理的 PFC 气体。该系列有 G5-350、G5-500、G5-600、G5-1200 等型号,进气量范围为 350-1200 升 / 分钟,处理方法为燃烧 + 湿式,燃料可选择城市燃气或丙烷气,可处理 SiH4、NF3、HBr、CF4 等多种气体,适用于半导体、液晶面板等电子元件制造及化学、材料制造商等场所。

  • G6 系列燃烧式废气处理器:属于大流量燃烧废气处理系统,进气量约为传统型号的 3 倍,还可处理高发热的大流量氢气。该系列有 G6 A1~A4、G6 P1~P4 等型号,进气量为 1200 升 / 分钟,处理方法为燃烧 + 湿式,G6 A1~A4 型号燃料为城市燃气,G6 P1~P4 型号燃料为丙烷气,可处理 AsH3、Si3H8 等气体,应用领域与 G5 系列类似。

  • 催化剂式小型臭氧尾气破坏器:通过催化剂表面与臭氧发生氧化还原反应,促使臭氧分解为无害的氧气。其具有小型化设计的特点,能在有限空间内实现高效的臭氧分解,特别适用于半导体工厂中占地有限的生产线,可高效处理臭氧水机产生的臭氧尾气,防止有害气体排放。




































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































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