日本ULVAC爱发科 精密设备 真空泵
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日本ULVAC爱发科  精密设备 真空泵
日本ULVAC爱发科  精密设备 真空泵

螺杆式干式真空泵：以 LS 系列为代表，有 LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A 等型号。该系列通过将专有的螺杆形状与节能技术相结合，实现了高速排气和低功耗。例如，LS300A 接近大气压时抽速可达 80m³/h，抽气时间比传统真空泵缩短约 20%，且标配消音器，极限压力下噪音值小于 61dB（A）。

隔膜型干泵：包括一段式排气泵、二段式排气泵和耐腐蚀规格泵。一段式排气泵有 DAP-12S、DA-60S 等型号；二段式排气泵如 DAP-6D、DA-30D 等；耐腐蚀规格泵以 DTC 系列为代表，如 DTC-60、DTC-22K 等，所有接触气体的部件全部采用 PTFE 与 FPM 材料，适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体。
油旋片式真空泵：有 GLD 系列、VSN 系列等。GLD 系列是高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵，通过创新散热设计实现高真空，具有油位观察方便、低震动、低噪音等优点。VSN 系列如 VSN1501、VSN2401 能对应全压强领域的连续运转，采用强制运转的供油方式和缸体水冷方式，噪音低于 74dB（A）。
摇动活塞型干泵：通过气缸内皮碗密封的往复运动形成真空，可在大气压下运作，并在全压力范围内连续运转。代表型号有 DOP-301SB、DOP-40D 等，这类泵结构简单、维护方便，内置自动复位型热保护器等安全设计。
罗茨真空泵：代表型号为 NB100A，其腔体无润滑油，适用于水蒸气、溶剂等气体，在高吸入压强下可稳定运转。