日本EBARA荏原 华南一级代理 干式真空泵
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日本EBARA荏原 华南一级代理 干式真空泵
日本EBARA荏原 华南一级代理 干式真空泵

产品特点

• 干式无油技术：采用非接触式密封技术，无需油或液体密封，避免了油和水的回流与扩散，能实现清洁真空，满足半导体、食品等对洁净度要求严苛的行业需求。

• 高可靠性与广泛真空度范围：可适应从大气压到高真空的范围，真空度可达 10⁻¹²Torr，能满足各种不同制程的需求，在半导体制造的刻蚀、离子注入等高真空工艺中表现稳定。

• 高效节能：独特的优化转子设计提高了压缩效率，降低了功耗。部分型号还集成变频调速系统，可根据负载动态调节电机功率，能耗降低 20% 以上。

• 模块化与扩展性：支持多级串联或并联，抽速范围覆盖 10-1000m³/h，可适配不同真空需求。同时，采用快速拆卸设计，更换核心部件耗时可缩短至 2 小时内，减少停机损失。

• 耐腐蚀性能：泵体采用陶瓷涂层、不锈钢等全密封结构，部分型号还可进行镀镍或 PTFE 涂层等特殊防腐处理，能耐受 Cl₂、H₂S 等酸性气体和有机溶剂的腐蚀，适用于化工、制药等行业。

主要产品型号及参数

• EV-PA 型：是小型、轻量、节能的空冷干式真空泵，无需冷却水，可使用单相 100V-240V 电源。以 EV-PA250 为例，排气速度为 230L/min，到达底压为 0.5Pa，重量仅 16kg。

      ESA500W 型：采用变螺距螺杆设计，抽速范围为 500-1000m³/h，极限真空可达 0.1Pa，排气温度控制在 60℃以下，背压耐受能力达 0.3barg，适用于半导体、光伏等领域的大型腔室高速排气。
      EV-X 型：适用于中等负荷工艺，配备荏原独特的节能技术，采用模块化设计，具有宽范围温度控制能力，可覆盖多种工艺。其体积小巧，能耗低，且具备耐腐蚀性能。
      EV-M802N 型：极限压力为 0.45Pa，具有高节能性能，标配耐腐蚀材料，可处理高负载过程，适用于半导体、化工、制药等多个行业。

应用领域

• 半导体与电子行业：在晶圆制造的刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺，以及芯片封装测试环节广泛应用，为工艺提供稳定的真空环境，确保产品质量。

• 光伏行业：在太阳能电池生产的 PECVD、扩散炉等设备中，帮助抽取气体，实现高效电池制造。

• 化工与制药行业：用于溶剂回收、真空干燥、原料药生产等工艺，既能避免腐蚀性气体对泵体的损害，又能满足医药行业的高洁净要求。

• 食品与饮料行业：在真空包装、浓缩与冻干等工艺中发挥作用，可避免油污污染食品，延长食品保质期。

• 科研与分析仪器：为质谱仪、电子显微镜等提供高真空环境，确保仪器的准确测量和成像质量。