无脉动超高精度计量泵 日本FUJI富士
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无脉动超高精度计量泵 日本FUJI富士
无脉动超高精度计量泵 日本FUJI富士
日本富士技术工业株式会社的这款 ±0.1% 无脉动超高精度计量泵也被称为超级计量泵，凭借独特的结构设计和精密加工工艺，实现了高稳定性和精准输送，广泛应用于多个高精度需求行业，以下是详细介绍：

1. 核心结构与技术亮点

• 三连特殊凸轮驱动设计：这是其实现无脉动和高精度的核心。该设计让 3 根柱塞在往复运动时呈现等加速、匀速、等减速三种不同速度，无论单根或两根柱塞处于吐出行程，总吐出量始终恒定，同时使吸入侧与吐出侧流速保持一致，大幅减少气蚀现象。且阀球运动平滑，既能抑制内泄，又能避免阀座与阀球偏磨损，配合凸轮部、柱塞等接触液体部位的微米级加工，保障全领域 ±0.1% 的吐出精度。

• 柱塞特殊复位机构：采用 “衣架形" 回程杆连接前后柱塞，形成可精准追随凸轮运动的复位结构。这种设计使吸入和吐出速度一致，即便在高速运转或输送高粘度液体时，凸轮与轴承也能紧密贴合，不会出现柱塞复位不到位的情况，进一步保障输送稳定性。

• 多元耐腐材质搭配：接液部可选 SUS316、钛、哈氏合金 B/C 等材质，柱塞有 SUS316 和陶瓷可选，密封件采用超高分子聚乙烯、PTFE 等耐腐蚀材料，O 型圈等配件也提供多种耐温耐腐材质选项，可适配不同腐蚀性、特殊性输送介质。

2. 关键性能参数

   性能指标	具体范围
   流量精度	全使用领域内流量再现精度≤±0.1%
   输出压力	3.7 - 200MPa
   输送流量	15.3ml/min - 117.8L/min
   粘度适配	1 - 100mPa·s
   工作温度	-30 - 200℃
   核心优势	压力、粘度变化对吐出量几乎无影响，吐出量与电机转速成正比，实现无脉动输送

3. 主流产品型号

   该系列有 HYSA、HYSB、HYSC、HYSD、HYM 等多个系列型号，适配不同场景需求。例如 HYSA - 06 常应用于半导体行业，能满足芯片清洗、涂层等工艺的精准输送需求；HYM 系列接液部还可选用 PTFE、PEEK 材质，适配更多特殊腐蚀性介质，像 HYM - 03、HYM - 06 等型号因流量偏差小，在高精度配比场景中应用广泛。

4. 核心应用领域

• 半导体与电子行业：在芯片清洗、涂层工艺中，无脉动输送可避免产品破裂，保障涂层均匀性；同时适配半导体制造中多种特殊介质的精准输送。

• 化工与新材料领域：中石化、烟台泰和新材等企业将其用于原材料配比，其高精度保障产品稳定性；日本 NGK 公司也用该泵研发高性能陶瓷载体，攻克了长期未突破的技术难题。

• 制药行业：辉瑞、诺华等药企在生产中借助其高精度，实现原料药配比的精准控制，符合制药行业严苛的质量标准。

• 新能源领域：在锂电池 PE 膜制造的涂层工艺中发挥作用，保障膜材涂层质量，助力提升锂电池性能。