ANEST IWATA / 阿耐思特岩田 VTC-050 精准参数（真空排气消音过滤装置）

一、型号编码解析（VTC-050）

• VTC：Vacuum Turbo Cart / Exhaust Treatment Cart → 真空排气处理单元（消音 + 过滤）

• 050：适配 50L/min 抽速级真空泵（ISP-50、DPS-50、GVS-50 等）

二、核心规格参数（标准）

三、结构与核心功能

1. 双重过滤 + 消音一体化：内置前置粗滤 + 主精滤（5μm）+ 消音腔，先滤粉尘再消音，排气洁净无异味、低噪音

2. 无油洁净排气：适配岩田无油涡旋泵，杜绝油雾污染，适合半导体、电子、医药、食品等洁净场景

3. 快装 KF-25 接口：直接对接泵排气口，安装 / 拆卸 / 更换滤芯无需工具，维护便捷

4. 防背压设计：内部流道优化，不增加泵负载、不影响泵真空度与抽速

四、适配机型（必看）

• 岩田无油涡旋真空泵：ISP-50、ISP-50E、DPS-50、DPS-50LE

• 岩田干式真空泵：GVS-50、GVS-50E（50L/min 级）

• 不可用于 > 50L/min 抽速泵（会过载、背压过高）

五、典型应用场景

• 半导体 / 电子：晶圆制程、真空吸附、芯片封装洁净排气

• 实验室：分析仪器、真空干燥、手套箱、质谱仪排气净化

• 工业自动化：真空吸盘、真空搬运、真空成型的排气消音过滤

• 医药 / 食品：无菌包装、冻干机、洁净车间排气处理

六、维护要点

1. 定期检查滤芯：排气阻力变大、噪音回升、泵负载上升时，立即更换 VTC-050 专用滤芯

2. 安装方向：必须按壳体箭头（排气流向）安装，不可反向

3. 环境：避免粉尘 / 油污直接进入，建议泵进气端加装前置过滤器