玉崎 日本原装IWATA 无油涡旋干泵

玉崎 日本原装IWATA 无油涡旋干泵

ANEST IWATA / 阿耐思特岩田 VTC-080-LV（高真空排气单元 / 涡轮分子泵组）

一、型号编码全解析

• VTC：Vacuum Turbo Cart → 涡轮分子泵排气单元（集成粗抽 + 主泵）

• 080：涡轮分子泵规格（SL-80 型，抽速 80L/s 级）

• LV：Low Vacuum → 低压 / 低真空侧适配、无油涡旋粗抽、低背压设计

二、核心性能参数

1. 真空性能（核心）

• 极限真空：≤1×10⁻⁶ Pa（高真空级）アネスト岩田

• 涡轮分子泵（主泵）：SL-80，抽速80 L/s（N₂）

• 粗抽干泵（岩田无油涡旋）：ISP-250C-SV，抽速250 L/min（ANR）

• 抽气气体：洁净干燥空气 / 惰性气体（N₂、Ar），严禁粉尘、腐蚀性 / 含油气体

• 工作压力范围：大气 → 10⁻⁶ Pa

2. 接口与连接

• 进气口：CF63（高真空法兰，标准 ISO-KF/CF）アネスト岩田

• 排气口：NW16（粗泵排气，快装）アネスト岩田

• 冷却方式：空冷（无需水冷，简化安装）アネスト岩田

3. 电气与环境

• 电源：单相，50/60Hz（LV1=50Hz，LV2=60Hz）

• 环境温度：15–40℃（避免高温降速 / 损坏）アネスト岩田

• 防护：无油、洁净设计，适配 Class 100/10 洁净室

4. 结构与尺寸

• 集成一体化：涡轮分子泵 SL-80 + 粗抽 ISP-250C-SV + 控制 / 消音过滤

• 紧凑机架式，带脚轮 / 固定底座，可移动部署

三、核心结构与功能优势

1. 无油洁净高真空：全程无油（涡轮分子泵 + 无油涡旋粗泵），无油雾返渗、无油污染，适配半导体、镀膜、质谱、科研真空腔

2. 集成化一键启停：内置控制单元，同步启停分子泵 + 粗抽泵，无需独立控制，简化系统集成

3. 低背压 LV 设计：粗抽侧优化流道 + 消音过滤，不增加分子泵负载、不影响极限真空，排气噪音≤60dB (A)

4. 免维护干泵：ISP-250C 无油涡旋，无密封油、无易损件，长期稳定运行，维护成本极低

5. 高真空快速抽气：粗抽快速预抽，分子泵快速建立高真空，满足半导体 / 镀膜制程节拍要求

四、适配场景（必看）

• 半导体：晶圆刻蚀、沉积、离子注入、真空检测腔

• 真空镀膜：光学镀膜、PVD/CVD、半导体薄膜沉积

• 分析仪器：质谱仪、电子显微镜、表面分析设备

• 科研实验室：高真空物理实验、材料表征、超导 / 量子设备

• 工业真空：真空钎焊、真空退火、洁净真空吸附

五、维护与选型要点

1. 介质要求：仅允许干燥洁净气体，进气端必须加装0.1μm 级高效过滤器，严禁粉尘、水汽、腐蚀性气体进入

2. 启动顺序：必须先启动粗抽泵预抽，待真空降至低真空后再启动分子泵，严禁分子泵在大气压下直接启动

3. 滤芯维护：粗泵排气端内置消音过滤芯，定期检查更换（寿命约 2000–3000h），防止背压过高

4. 选型区分：VTC-080-LV 是高真空集成泵组，≠ 单纯排气消音过滤器（如 VTC-050）；不要与普通排气过滤单元混淆