ANEST IWATA / 阿耐思特岩田 VTU-500 高真空排气单元

一、型号编码解析

• VTU：Vacuum Turbo Unit → 涡轮分子泵集成排气单元（含辅助功能）

• 500：适配500 L/min 级无油涡旋干泵（对应 ISP-500C 系列），为大抽速分子泵提供前级支撑

• 无额外后缀：标准通用款，覆盖 50/60Hz 工业电网，适配主流前级干泵

二、核心性能参数

三、核心功能与优势

1. 大流量洁净排气：搭配 ISP-500C 大抽速干泵，满足大型半导体腔体、镀膜设备的快速排气需求，全程无油，杜绝油雾返渗。

2. 背压精准控制：将分子泵排气背压稳定在 100 Pa 以内，保障高真空抽速与运行稳定性，避免泵组过热损坏。

3. 高效降噪与防护：0.1 μm 高精度滤芯拦截杂质，同时通过多级消音腔将噪音控制在 60 dB (A) 以下，适配洁净室与实验室环境。

4. 一体化运维便捷：集成控制单元支持一键启停，内置故障保护与状态监控；滤芯（型号：VTU-500-FILTER）快拆设计，维护周期约 2000–3000h。

四、适配场景

• 半导体制造：晶圆大尺寸腔体、CVD/PVD 沉积、离子注入、真空检测台

• 真空镀膜：大型光学镀膜、磁控溅射、半导体薄膜制备

• 科研装置：同步辐射光源、电子显微镜、质谱仪、超高真空物理实验

• 分析仪器：表面分析设备、大型泄漏检测装置、真空热 / 热处理炉

五、选型与维护要点

1. 核心定位：VTU-500 是涡轮分子泵 + ISP-500C 前级泵的集成排气系统，≠ 单独过滤器 / 消音器，需与对应抽速的大型涡轮分子泵配套使用。

2. 介质要求：仅允许干燥、洁净气体（N₂、Ar、洁净空气），进气端需加装 0.1 μm 前置过滤器，严防水汽、粉尘、腐蚀性气体进入。

3. 启动规范：先启动 ISP-500C 干泵预抽至低真空，再启动涡轮分子泵，严禁分子泵在大气压下直接启动，避免烧毁轴承。

4. 维护周期：定期检查滤芯压差与干泵油位，滤芯堵塞或压差超标时及时更换；建议每 6 个月进行一次全面巡检。