ANEST IWATA / 阿耐思特岩田 VTU-050（涡轮分子泵排气单元 / 消音过滤单元）

一、型号编码全解析

• VTU：Vacuum Turbo Unit → 涡轮分子泵排气辅助单元（消音 + 过滤 + 背压控制）

• 050：适配50 L/s（N₂） 级涡轮分子泵（SL-50），对应排气流量规格

• 无 LV/BV 后缀：标准通用型，适配常规前级干泵，非低压专用

二、核心性能参数

1. 真空与排气性能

• 适配主泵：SL-50 涡轮分子泵（抽速 50 L/s，N₂）

• 极限背压：≤100 Pa（保障分子泵正常抽速、不衰减）

• 过滤精度：0.1 μm（高效玻纤滤芯，拦截粉尘 / 颗粒物）

• 排气噪音：≤58 dB(A)（内置消音腔，大幅降低排气噪音）

• 工作压力：适配分子泵排气侧 10⁻⁶ Pa ~ 100 Pa 区间

2. 接口与连接

• 进气口（接分子泵排气）：NW40 / KF40（快装法兰，标准真空接口）

• 排气口（接前级干泵）：NW25 / KF25

• 冷却方式：空冷（无需水冷，安装便捷）

3. 结构与规格

• 材质：壳体铝合金，滤芯高效玻纤 + 不锈钢支撑网

• 尺寸：紧凑立式，适配小型真空腔体 / 设备集成

• 维护：内置可更换滤芯（型号：VTU-050-FILTER），寿命约2000–3000h

三、核心功能与优势

1. 背压控制，保护分子泵：精准控制排气背压≤100Pa，避免分子泵因背压过高导致抽速下降、过热、轴承损坏

2. 无油洁净过滤：无油设计，滤芯拦截微小颗粒，杜绝粉尘 / 杂质进入前级干泵，延长 ISP 干泵寿命、保持真空系统洁净

3. 高效消音降噪：多级消音腔结构，排气噪音降至 58dB (A)，满足实验室 / 洁净室静音要求

4. 紧凑集成、易维护：体积小、重量轻，直接串联在分子泵与前级干泵之间，滤芯快拆更换，无需复杂调试

四、适配场景（必看）

• 小型半导体设备：晶圆检测、小型刻蚀 / 沉积腔、真空探针台

• 分析仪器：质谱仪、小型电子显微镜、表面分析设备

• 真空镀膜：小型光学镀膜、PVD 溅射、科研镀膜设备

• 实验室高真空：材料表征、物理实验、小型真空腔体排气

五、选型与维护要点

1. 核心定位：VTU-050 是排气辅助单元（消音 + 过滤 + 背压），≠ 完整泵组（无分子泵 / 干泵），必须搭配 SL-50 分子泵 + ISP 前级干泵使用

2. 介质要求：仅允许干燥、洁净惰性气体（N₂、Ar）/ 洁净空气，严禁水汽、腐蚀性气体、粉尘进入

3. 维护周期：定期检查排气滤芯，压差升高 / 堵塞时立即更换（VTU-050-FILTER），防止背压超标

4. 型号区分：VTU-050（50L/s 适配）≠ VTC-050（小型集成泵组）、≠ VTU-100（100L/s 适配）