Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装
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大阪真空 OSAKA TG2813 涡轮分子泵（化学耐蚀型，油润滑滚珠轴承）

一、核心参数（耐蚀型 TG2813

二、核心耐蚀专属特性

1. 全流道强防腐

   转子、叶片、泵腔均采用耐腐蚀涂层与合金，搭配专用耐蚀润滑油，耐受 Cl₂、F₂、HF、HCl、NH₃、SiH₄等强腐蚀气体，防腐蚀、防油变质、防转子卡死株式会社大阪真空机器制作所。

2. 抗冲击高耐用

   结构强化，耐受突发破真空、大气冲入、频繁启停，适配高腐蚀、高冲击工况，耐用性显著优于普通型号株式会社大阪真空机器制作所。

3. 超大流量高负载

   2800L/s 抽速、543sccm 最大负载，满足超大腔体、高流量腐蚀气体连续排气，覆盖半导体 / FPD / 光伏量产线需求株式会社大阪真空机器制作所。

4. TC3213 专用监控

   支持 RS232C 远程通信，实时监测转速、温度、背压、油位、腐蚀浓度；集成过载、过热、背压过高、低油位、过速、腐蚀多级报警，异常自动停机株式会社大阪真空机器制作所。

三、TG2813 与 TG1813 核心差异

四、前级泵配套 & 使用要点

1. 前级泵推荐

   优先干式螺杆泵 1500–3000L/min，确保背压稳定＜270Pa；小流量前级易触发背压报警、降速、轴承磨损株式会社大阪真空机器制作所。

2. 冷却要求

   水冷必须正常运行，进水温度≤30℃（允许≤35℃），流量充足，防止高温导致润滑油劣化、轴承失效株式会社大阪真空机器制作所。

3. 维护周期

   腐蚀工况下缩短维护周期，每 3000–5000 小时更换专用耐蚀润滑油；定期检查油位、油质及泵腔腐蚀情况株式会社大阪真空机器制作所。

4. 法兰与安装

   法兰优先选 VG250/ISO-B250，安装严格保持垂直姿态，严禁水平 / 倒置安装。

五、典型应用场景

• 半导体：刻蚀、清洗、ALD/CVD、离子注入等大流量腐蚀气体制程株式会社大阪真空机器制作所

• 面板 / 光伏：OLED/LCD、太阳能电池量产线，高负载腐蚀气体排气株式会社大阪真空机器制作所

• 表面处理：离子源、电子枪镀膜、真空热处理、表面改性株式会社大阪真空机器制作所

• 科研 / 工业：加速器、核聚变、真空冶金、大型腐蚀工况真空设备株式会社大阪真空机器制作所

六、选型核心提醒

• 通任何腐蚀气体，优先选TG2813（超大通量）或 TG1813（中大通量），严禁用 TG1810 洁净型；若追求更高抽速与负载，选 TG2813 更适配量产线需求株式会社大阪真空机器制作所。