Osaka Vacuum （大阪真空）精品原装
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Osaka Vacuum （大阪真空）精品原装

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大阪真空 OSAKA TG3213 涡轮分子泵（化学耐蚀型，油润滑滚珠轴承）

一、核心参数（耐蚀型 TG3213）

二、核心耐蚀专属特性（区别 TG3210）

1. 全流道强防腐设计

   转子、叶片、泵腔内壁均做抗腐蚀涂层 + 耐蚀合金处理，专用耐蚀润滑油，耐受半导体刻蚀 / 清洗常用Cl₂、F₂、HF、HCl、NH₃、SiH₄、BCl₃等强腐蚀工艺气体，杜绝泵体腐蚀、油变质、转子卡死、污染腔体。

2. 强化抗冲击 + 高耐用

   轴承支撑、转子结构强化，耐受突发破真空、大气冲入、频繁启停、高负载连续运行，比普通洁净型寿命提升 30%+，适配恶劣腐蚀工况。

3. 超大流量 + 高负载

   3200L/s 抽速、543sccm 最大负载，满足超大型腔体、高流量腐蚀气体连续排气，适配半导体 / FPD / 光伏量产产线。

4. TC3213 专用控制器

   支持RS232C 远程通信，监控转速、温度、背压、油位、腐蚀气体浓度；集成过载、过热、背压过高、低油位、过速、腐蚀报警，异常自动停机保护。

三、TG3213 vs TG2813 vs TG1813 核心对比

四、前级泵配套 & 使用要点

1. 前级泵推荐：优先干式螺杆泵 1500–3000L/min，确保背压稳定＜270Pa；小流量前级易触发背压报警、降速、轴承磨损、转子卡死。

2. 冷却要求：水冷必须正常运行（进水温度≤30℃、流量充足），防止高温导致润滑油变质、轴承失效。

3. 维护：腐蚀工况下每 3000–5000 小时更换专用耐蚀润滑油，定期检查油位 / 油质、泵腔腐蚀情况。

4. 法兰选型：优先VG300/ISO-B320（适配超大腔体、高真空密封、耐腐蚀）。

五、典型应用场景

• 半导体：刻蚀、清洗、ALD/CVD、离子注入等大流量腐蚀气体制程

• 面板 / 光伏：OLED/LCD、太阳能电池量产线，高负载腐蚀气体排气

• 表面处理：离子源、电子枪镀膜、真空热处理、表面改性

• 科研 / 工业：加速器、核聚变、真空冶金、大型腐蚀工况真空设备

六、选型核心提醒

• 通任何腐蚀气体，必须选 TG3213（3 后缀），严禁用 TG3210 洁净型；需要3000L/s 级超大抽速 + 耐蚀时，TG3213 是。