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京都玉崎 SATOVAC 佐藤真空 精密仪器
京都玉崎 SATOVAC 佐藤真空 精密仪器
| 参数项 | 规格详情 |
|---|---|
| 型式 | 经济型油扩散真空泵 |
| 公称抽速 | 215 L/s（1.3×10⁻³ Pa 时）佐藤真空株式会社 |
| 极限真空度 | 7.5×10⁻⁴ Pa佐藤真空株式会社 |
| 加热功率 | 700W |
| 电源 | 单相 AC100V |
| 泵油量 | 150 ml |
| 冷却水量 | 0.7 L/min |
| 进气法兰 | VF-100 / ISO100 |
| 本体重量 | 8.0 kg |
| 适配前级泵 | DW-120、USW-150N 等大中型前级泵 |
| 特殊标识 | *1 = 空冷式（区别于标准水冷型）佐藤真空株式会社 |
| 型号 | 抽速 (L/s) | 极限真空 (Pa) | 定位 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|
| SDP-4A*1 | 215 | 7.5×10⁻⁴ | 经济型、大流量、通用高真空 | 空冷 |
| SDP-4 | 380 | 1×10⁻⁵ | 高性能、超高真空 | 标准水冷 |
空冷设计：*1 为空冷版本，省去水冷系统，安装更灵活，适合对冷却水条件有限制的场景佐藤真空株式会社。
大流量抽速：215 L/s 的抽速满足中大型腔体快速抽气需求，性价比。
稳定耐用：多级喷嘴结构，无运动部件，故障率低，支持长时间连续运行。
高性价比：相比 SDP-4 成本更低，兼顾抽速与经济性，是通用高真空应用的优选。
中型真空镀膜、光学薄膜制备
高校 / 科研院所通用高真空实验装置
真空干燥、材料脱气、真空烧结炉
电子器件封装、半导体后段制程等通用真空环境
| 型号 | 抽速 (L/s) | 极限真空 (Pa) | 加热功率 (W) | 法兰 | 冷却方式 | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SDP-2A*1 | 58 | 7.5×10⁻⁴ | 350 | KF40 | 空冷 | 3.5 |
| SDP-2 | 125 | 1×10⁻⁵ | 400 | VF65 | 水冷 | 4.7 |
| SDP-3A*1 | 150 | 7.5×10⁻⁴ | 600 | VF65 | 空冷 | 6.8 |
| SDP-3 | 280 | 1×10⁻⁵ | 650 | VF65 | 水冷 | 7.2 |
| SDP-4A*1 | 215 | 7.5×10⁻⁴ | 700 | VF100 | 空冷 | 8.0 |
| SDP-4 | 380 | 1×10⁻⁵ | 700 | VF100 | 水冷 | 8.0 |
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