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京都玉崎 SATOVAC 佐藤真空 精密仪器
京都玉崎 SATOVAC 佐藤真空 精密仪器
型式：超大流量油扩散真空泵（高性能标准型）
定位：SDP 系列旗舰大流量型号，用于大型真空腔体、超快速抽高真空
配套要求：必须配合大功率前级机械泵 + 水冷系统 + 冷阱使用
| 参数项 | 规格详情 |
|---|---|
| 公称抽速 | 810 L/s（标准喷嘴） / 465 L/s（经济型喷嘴） |
| 极限真空度 | 1×10⁻⁵ Pa（超高真空） |
| 加热功率 | 2000W (2kW) |
| 电源 | 单相 AC100V |
| 泵油量 | 340 ml |
| 冷却水量 | 1.0 L/min |
| 进气法兰 | VF-160 / ISO160 |
| 本体重量 | 15.0 kg |
| 临界背压 | 20 Pa |
| 启动时间 | 约 30 分钟 |
| 适配前级泵 | DW-360、USW-360N 等大型前级泵 |
| 型号 | 抽速 (L/s) | 极限真空 (Pa) | 加热功率 (W) | 法兰 | 重量 (kg) | 定位 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SDP-6 | 810 | 1×10⁻⁵ | 2000 | VF160 | 15.0 | 超大流量、工业级、超高真空 |
| SDP-4 | 380 | 1×10⁻⁵ | 700 | VF100 | 8.0 | 大流量、通用型、超高真空 |
| 型号 | 抽速 (L/s) | 极限真空 (Pa) | 加热功率 (W) | 法兰 | 冷却 | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SDP-2A*1 | 58 | 7.5×10⁻⁴ | 350 | KF40 | 空冷 | 3.5 |
| SDP-2 | 125 | 1×10⁻⁵ | 400 | VF65 | 水冷 | 4.7 |
| SDP-3A*1 | 150 | 7.5×10⁻⁴ | 600 | VF65 | 空冷 | 6.8 |
| SDP-3 | 280 | 1×10⁻⁵ | 650 | VF65 | 水冷 | 7.2 |
| SDP-4A*1 | 215 | 7.5×10⁻⁴ | 700 | VF100 | 空冷 | 8.0 |
| SDP-4 | 380 | 1×10⁻⁵ | 700 | VF100 | 水冷 | 8.0 |
| SDP-6 | 810 | 1×10⁻⁵ | 2000 | VF160 | 水冷 | 15.0 |
超大抽速：抽速达 810 L/s，是 SDP-4 的 2.1 倍，适合超大型腔体、快速抽气
超高真空：极限真空 1×10⁻⁵ Pa，满足半导体、光学镀膜、科研等高要求
工业级稳定：多级喷嘴、加厚铸铁本体，24 小时连续稳定运行
高效冷却：优化水冷结构，返油率极低，配合冷阱可实现无油污染高真空
大型光学镀膜、太阳能镀膜、装饰镀膜设备
半导体制造、电子束蒸发、离子注入等高真空制程
高校 / 研究所大型真空实验舱、粒子加速器、材料科学装置
真空焊接炉、真空烧结、真空退火等大型工业炉
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