日本原装Orientalmotor
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AR 系列是东方马达专属高真空环境专用的 αSTEP 闭环步进电机，基于你之前了解的AZ 系列通用电机技术平台，做全结构真空耐化、低放气、密封优化，同样标配 ABZO 免电池绝对值编码器，是半导体真空腔体、高洁净精密设备的专用电机，无普通大气环境民用型号

一、系列核心定位与核心技术

1. 产品定位

• 归属：αSTEP 步进伺服（闭环步进） 家族，与 AZ 系列同技术底层，AR = 真空专用版 AZ

• 专属场景：高真空腔体内部直接安装运行（10⁻⁵Pa 超高真空），解决普通电机放气、油污、材料挥发、密封圈老化、真空污染问题

• 技术同源：完整继承 AZ 系列ABZO 免电池机械绝对值编码器、闭环防丢步、上电免回零、高精度全部优势，仅做真空适配结构改造

2. 核心优势（真空专属）

1. 超高真空耐受

   最高适用真空度：1×10⁻⁵ Pa，适配半导体镀膜、晶圆键合、刻蚀、真空传输腔等高真空制程。

2. 极低气体释放（低 Outgassing）

   整机材料、润滑脂、密封件全部采用真空级低放气材质，无普通电机油脂挥发、塑胶出气、污染物析出，不污染真空腔与晶圆工件，满足半导体洁净标准。

3. 全密封耐高温结构

   轴封、机壳密封强化，适配腔体高温烘烤、真空除气工艺；内部无易损有机耗材，长期真空环境寿命稳定。

4. 继承 AZ 全系核心性能

• ABZO 免电池多圈绝对值编码器：无电池、±900 圈位置记忆、上电免回零、无需原点开关、断电位置保存

• 闭环控制：实时位置补偿、无丢步、电机低发热

• 高精度定位：±4 角分（±0.067°） 定位精度，高细分分辨率

• 统一调试软件：MEXE02 参数配置、监控、故障诊断

二、电机型号、规格全解

1. 型号命名规则

• ARM：AR 系列真空闭环电机前缀

• 尺寸：覆盖42mm、60mm、85mm主流法兰（同 AZ 系列机身尺寸）

• 电源后缀：AC（AC200V 交流），无 DC 低压机型

• 拓展：内置行星减速（PS）、电磁制动（E）机型齐全

三、专属配套驱动器（不可混用 AZ 驱动器）

1. 主流驱动器型号

1. CVD2AR-KED（双轴驱动器）

• 一机驱动2 台 AR 系列电机，大幅节省控制柜空间、精简布线

• 供电：DC24/48V；单轴最大相电流 3.0A

• 控制：脉冲方向、I/O 点位定位、内置 16 点预设位置

• 微步：最高 128 细分，低速低振动、运行平顺

• 闭环适配：完整支持 AR 电机 ABZO 编码器、失步检测补偿

2. CVD4AR-KED（四轴驱动器）

• 一机驱动4 台 AR 真空电机，多轴同步控制

• 通信扩展：自带Modbus RTU总线，支持 PLC 组网、远程参数监控

• 统一 MEXE02 软件调试，参数读写、波形监控、故障记录

2. 驱动器通用功能

• 闭环位置实时补偿、转矩 / 位置全程监控

• 电子齿轮、软限位、过载 / 过流 / 过热全维度保护

• 仅单电缆连接电机，简化腔体穿线与真空密封走线

• 原点无需物理传感器，软件原点设定

四、全系列核心功能汇总

1. 免回零绝对定位（核心）

   断电位置保存，上电无需回原点、无需原点传感器，适配真空腔体内难以安装传感器、布线困难的场景，大幅简化腔体结构设计。

2. 闭环无失步运行

   实时位置反馈自动纠偏，解决步进丢步，真空内部机构运行稳定可靠。

3. 真空环境全适配

   低放气材料、专用真空润滑、耐高温密封，长期真空运行无污染物析出，不影响腔体真空度与工艺制程。

4. 多轴集成便捷

   CVD 多轴驱动器方案，适配半导体设备多轴精密工位同步运动。

五、典型行业应用（专属场景）

1. 半导体设备：晶圆键合、薄膜沉积、真空镀膜、刻蚀机内部精密位移、晶圆真空传输臂、腔体微调平台

2. 真空精密仪器：高真空检测设备、真空光学平台、精密真空调节机构

3. 微电子制程：真空封装设备、腔体内部升降 / 旋转精密工位

4. 洁净设备：超高洁净实验室真空传动机构