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DIC迪爱生全氟 PTFE 大流量耐腐蚀脱气模组 DIC迪爱生全氟 PTFE 大流量耐腐蚀脱气模组
全氟广谱耐化:全 PTFE/PFA 全氟接液,兼容、各类强酸强碱、IPA、酮酯、醚类、光刻胶、显影液、剥离液,普通聚烯烃材质脱气膜无法适配的腐蚀工况。
脱气 / 溶气两用:壳侧抽真空脱除 O₂、CO₂;外接 N₂/CO₂气源可对药液定量溶气,配制功能性制程试剂。
内灌流易维保:药液流经膜丝内腔,固体杂质不易堵膜,反向通入有机溶剂即可在线清洗,无需拆机,适配含微量悬浮物油墨、高粘稠光刻药液。
高纯无析出:无金属离子、塑胶助剂析出,满足半导体芯片、面板高纯化学品洁净制程,立式、卧式均可狭小设备空间安装。
补充:PF-40F (T) 改良版优化内部导流结构,同等流量下压损降低 42%,适配低扬程大流量泵组配套使用。
半导体 / 显示面板:晶圆量产线大流量蚀刻液、光刻胶、剥离液、显影液在线连续脱气,杜绝涂布针孔、线路断线、镀膜瑕疵;
大型工业喷墨:宽幅卷材印刷、大容量循环溶剂 / UV 工业墨水持续脱泡,规避喷头堵孔、断墨、色差不良;
中试 / 量产制备色谱:工业化大流量 HPLC 流动相除气,稳定仪器基线、消除气泡带来的数据波动;
精细化工 / 医药:量产级腐蚀性原料药、高纯有机溶剂在线除氧,延缓原料氧化变质、提升成品良率。