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DIC迪爱生全氟 超大流量耐腐蚀脱气模组 DIC迪爱生全氟 超大流量耐腐蚀脱气模组
全氟广谱耐化:全 PTFE/PFA 全氟接液,兼容、各类无机强酸强碱、IPA、酮 / 酯 / 醚类、光刻胶、显影液、剥离液、蚀刻液,普通聚烯烃脱气膜无法胜任的腐蚀工况。
脱气 / 溶气双功能:壳侧抽真空脱除 O₂、CO₂;外接 N₂/CO₂气源可对药液精准定量溶气,调配功能性工艺试剂。
内灌流易在线维保:药液流经膜丝内腔,颜料、胶体、微量杂质不易堵膜,反向有机溶剂吹扫即可在线清洗,无需拆机,适配高粘稠光刻药液、含悬浮颗粒工业 UV / 溶剂墨水。
半导体级高纯无析出:无金属离子、塑胶助剂析出,满足高纯电子化学品严苛洁净制程,立式、卧式均可设备紧凑安装。
补充:PF-60F (T) 改良版优化内部布水结构,同等流量下压损降低 45%,适配低扬程大流量 NIKUNI 泵组系统,减少管路能耗。
半导体 / 显示面板量产:12 寸晶圆厂集中供液、大型 LCD/OLED 产线大流量蚀刻液、光刻胶、剥离液在线连续脱气,消除涂布针孔、线路断线、镀膜瑕疵,提升芯片良率;
宽幅卷材工业喷墨:大型纺织 / 装饰卷材高速喷墨大容量循环溶剂、UV 墨水持续脱泡,杜绝大面积断墨、喷头堵塞、印刷色差;
工业化制备色谱:量产级大流量 HPLC、原料药提纯流动相除气,稳定检测基线、消除气泡干扰数据;
精细化工 / 医药量产:连续化生产线腐蚀性原料药、高纯有机溶剂在线除氧,延缓药剂氧化变质,保障成品稳定性。