DIC迪爱生 三代超低阻超精密纯水脱气模组
PF：内灌流构造（液体走中空纤维内腔、壳程抽真空脱气）SEPAREL
001：小型基准规格；L = 低压损大流量 PO 聚烯烃纯水专用系列；
ND3：第三代导流优化顶配款，在 NA、ND2 基础上内腔布水、膜丝排布、密封结构三重改良，全系 L 系列顶级版本

一、型号释义

二、核心技术参数

1. 处理流量：额定 2～80L/h，工况 40～65L/h（纯水）

2. 耐压条件：液侧 / 真空最高承压 0.3MPa，推荐安全运行≤0.2MPa

3. 使用温度：5℃～40℃

4. 接口规格：液体口 Rc1/4 内螺纹；真空口 φ6 软管快插

5. 外形尺寸：Φ60mm×148mm，腔体容积 51mL

6. 膜面积 & 脱气性能：有效膜面积 0.9㎡，搭载 DIC 自研 SS 致密表皮 PMP 中空纤维膜；常温纯水脱氧≤50ppb，高配工况可做到残氧＜1ppb、脱气效率≥93%SEPAREL

7. 接液材质：PMP 聚烯烃中空纤维 + PP 壳体 + 耐水解改性 EPDM 密封圈，无金属、塑化剂析出；仅限纯水、稀弱酸弱碱水溶液，禁止有机溶剂、强腐蚀药液

三、产品简介

四、产品核心优势

1. ND3 三代超低流阻：内腔多级分流导流，全系 PF-001L 系列压损，极小扬程泵即可满负荷运行，降低真空泵与供水泵能耗；

2. 超高精密脱气：SS 致密皮层膜，阻隔细微杂质穿透膜丝，杜绝膜渗漏污染真空管路，出水残氧指标为同规格顶尖水准；

3. 脱气 / 溶气两用：壳侧抽真空除 O₂/CO₂；接入 N₂/CO₂气源可在线制备溶气功能性清洗水；

4. 内灌流易维护：液体流经膜丝内腔，颗粒物不易堵膜，纯水反向在线冲洗，免拆机保养，立式 / 卧式任意安装；

5. 超高洁净等级：满足电子级 UPW、医药注射纯化水洁净规范，无离子析出。

五、应用领域

1. 半导体 / 晶圆：实验室超纯水循环、单片式晶圆湿法蚀刻 / 漂洗闭环脱氧，杜绝硅片氧化水印不良；

2. 光学精密清洗：镜头、玻璃基板超声波清洗水循环深度脱泡，消除水洗气泡瑕疵；

3. 分析仪器：HPLC 液相色谱、理化检测仪纯水流动相深度除气，基线无气泡漂移；

4. 新能源 / 医药：锂电池配料纯水、制药纯化水在线脱氧、小型高纯锅炉给水除氧防腐。