DIC迪爱生全氟耐化学专用脱气模组
PF：内灌流结构（液体走中空纤维内腔，壳程真空抽气脱气）
05：中流量基准规格；F=PTFE 全氟材质（耐酸碱 / 有机溶剂，区别纯水 PO 材质 D/L 系列）；T = 低压损改良版，优化内部布水，相较标准 PF-05F 压降大幅降低。

二、核心技术参数

1. 处理流量：额定 1～100mL/min（6～6000mL/h），工况 30～70mL/min

2. 耐压指标：液侧最高耐压 0.294MPa，安全推荐≤0.25MPa；真空侧负压≤-0.098MPa

3. 使用温度：5℃～40℃

4. 接口规格：液体口 1/4 寸外牙宝塔接头；真空口 Rc1/8 内螺纹

5. 外形尺寸：Φ102mm× 总长 180mm

6. 膜性能：PTFE 致密 SS 表皮中空纤维膜，常温溶剂 / 药液脱氧效率≥90%，出水残氧≤100ppb；有效膜面积 2.1㎡

7. 接液材质：全 PTFE 聚四氟乙烯膜 + 氟塑料壳体 + 全氟密封，无 PP/EPDM，耐受强酸、强碱、酮类、酯类、光刻稀释液、剥离液等绝大多数化工溶剂SEPAREL。

三、产品简介

四、产品核心优势

1. T 型低压损优化：内部导流槽重新排布，同流量下压损比常规 PF-05F 降低 35%，小扬程化工泵即可满负荷运行，适配微型泵闭环循环系统SEPAREL；

2. 全氟耐蚀：全线接液 PTFE，兼容 HF 、浓酸碱、IPA、丙酮、光刻胶、显影液、剥离液，纯水 / 化学品两用，无材质溶出污染药液；

3. SS 致密防渗透膜：外层致密表皮 PTFE，颜料、树脂、表面活性剂无法渗进膜丝，不易堵膜，适配油墨、涂料等高杂质流体；

4. 脱气 / 溶气两用：壳程抽真空除 O₂/CO₂；通入 N₂/ 惰性气体可在线水溶充气，配置功能性工艺药液；

5. 内灌流易维护：液体走膜丝内腔，杂质易反向冲洗，立式 / 卧式任意安装，体积紧凑适配设备内置。

五、应用领域

1. 半导体 / 面板：晶圆湿法蚀刻药液、显影液、剥离液、光刻稀释剂在线脱泡脱氧，避免制程针孔、水印不良；

2. 喷墨打印：溶剂型工业喷墨、UV 油墨循环脱气，杜绝喷头堵墨、断墨、喷墨偏移；

3. 精细化工：含表面活性剂涂料、试剂、有机溶剂闭环除气消泡；

4. 分析仪器：有机相 HPLC 流动相脱气，适配强酸 / 有机试剂色谱回路。