DIC迪爱生 全氟低压大流量脱气模组
PF：内灌流结构（液体走中空纤维内腔，壳程真空脱气）；13中大流量规格；F = 全 PTFE 氟系耐溶剂；T = 低压损优化改版，内部流道重新导流，相较标准 PF-13F 压降大幅下降，适配 NIKUNI 中大流量涡流泵闭环循环系统。

一、型号释义

二、核心技术参数

1. 处理流量：1～500mL/min，优选工况 150～350mL/min（标准版 PF-13F 上限 300mL/min，T 款扩容至 500mL/min）

2. 耐压参数：液侧极限耐压 0.294MPa，安全运行≤0.25MPa；真空侧极限负压≤-0.098MPa

3. 使用温度：5℃～40℃

4. 接口规格：液口 1/4 寸 Super Pillar 超级柱 PFA 接头；真空口 Rc1/8 内牙螺纹

5. 外形尺寸：Φ102mm× 总长 260mm，膜有效面积 3.0㎡，腔体容积约 300mL

6. 膜性能：SS 致密皮层 PTFE 中空纤维膜，常温脱氧效率≥92%，成品残氧≤80ppb；致密表皮防溶剂、颜料渗入膜丝

7. 接液材质：全 PTFE 膜 + 氟塑料壳体 + 全氟密封，无 PP、橡胶、金属接触药液

三、产品简介

四、产品优势

1. T 型低压损：同流量下压损较标准 PF-13F 降低 40%，小扬程涡流泵即可满载 500mL/min 流量，省电降负载；

2. 全氟广谱耐蚀：耐受 HF 、浓酸碱、IPA、丙酮、光刻显影液、剥离液、UV 溶剂油墨，无离子析出污染高纯药液；

3. SS 致密抗堵膜：外层致密不透液皮层，油墨颜料、树脂助剂无法渗进膜孔，高杂质流体不易堵膜，维护周期长；

4. 脱气 / 充气两用：壳侧抽真空除 O₂/CO₂；通入氮气可对药液在线溶气；

5. 内灌流易维护：液体走膜丝内腔，杂质可反向溶剂冲洗，立式 / 卧式任意装机。

五、应用领域

1. 半导体 / 面板：晶圆蚀刻液、显影液、剥离液中大流量循环脱气，消除镀膜针孔、水印缺陷；

2. 工业喷墨：大流量溶剂型 UV 油墨、工业数码墨水循环脱泡，杜绝喷头断墨、落点偏移；

3. 精细化工：高粘度涂料、电镀药液、有机试剂闭环除气；

4. 精密色谱：大流量有机相 HPLC 强酸流动相在线脱气。