DIC迪爱生 全氟耐化学低压改良脱气模组
PF：内灌流结构（液体走中空纤维内腔，壳程真空抽气脱气）
10：中大容量规格；F = 全 PTFE 氟系耐溶剂系列；T = 低压损改良款，内部流道优化，相较标准版 PF-10F 压降大幅降低，适配 NIKUNI 中流量涡流泵闭环工况。

一、型号释义

二、核心技术参数

1. 处理流量：额定 1～200mL/min（6～12L/h），工况 80～150mL/min

2. 耐压参数：液侧最高耐压 0.294MPa，推荐安全运行≤0.25MPa；真空极限负压≤-0.098MPa

3. 使用温度：5℃～40℃

4. 接口规格：液体口 1/4 寸外牙宝塔接头；真空口 Rc1/8 内螺纹

5. 外形尺寸：Φ102mm× 总长 260mm，有效膜面积 2.3㎡

6. 脱气性能：SS 致密表皮 PTFE 中空纤维膜，常温药液脱氧效率≥92%，出水残氧≤80ppb；致密皮层杜绝药液渗漏至真空管路

7. 接液材质：全 PTFE 聚四氟乙烯膜 + 氟塑料壳体 + 全氟密封件，无 PP、EPDM、金属接触介质，兼容强酸、强碱、各类有机溶剂

三、产品简介

四、产品核心优势

1. T 型低压损优化：内腔多级分流导流结构，同流量下压损比常规 PF-10F 降低 38%，小扬程化工涡流泵即可满载运行，适配中小型闭环循环设备；

2. 全氟广谱耐蚀：全流路 PTFE 材质，耐受、浓酸碱、IPA、丙酮、光刻显影液、剥离液、UV 溶剂油墨，无塑化剂、离子析出污染工艺流体；

3. 致密防堵膜丝：外层致密非多孔 PTFE 皮层，颜料、树脂、悬浮杂质无法渗入膜壁，高杂质药液不易堵膜，维护周期更长；

4. 脱气 / 溶气两用：壳侧抽真空脱除 O₂/CO₂；通入 N₂、惰性气体可在线制备功能性溶气药液，一机两用；

5. 内灌流易保养：液体流经膜丝内腔，杂质可反向纯水 / 溶剂在线冲洗，立式、卧式任意安装，设备内置空间友好。

五、应用领域

1. 半导体 / 面板：晶圆蚀刻液、显影液、剥离液、光刻稀释剂中流量循环脱气，消除制程针孔、水印不良；

2. 工业喷墨：大流量溶剂型 UV 油墨、环保墨水在线脱泡，避免喷头断墨、喷墨偏移堵头；

3. 精细化工：高粘度涂料、有机试剂、电镀药液闭环除气消泡；

4. 色谱设备：中流量有机相 HPLC 流动相脱气，适配强酸有机试剂回路。