MIYUKI美幸辉 真空蝶阀 GAR 系列
GAR 是半导体高纯制程专属电动伺服无级调节阀，属于精密电控流量 / 压力控制阀，定位高于经济型 BAR 电动蝶阀、气动 G 伺服阀；采用无摩擦低尘闸板式流道 + 内置断电电磁抱闸伺服电机，主打 8/12 寸晶圆刻蚀、PVD/CVD、离子注入等高洁净、高精密、防泄压关键腔体稳压，是日系半导体设备原厂标配真空控制阀。

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