玉崎 日本原装IWATA 适配真空泵

玉崎 日本原装IWATA 适配真空泵

ANEST IWATA / 阿耐思特岩田 VTC-150 （高真空排气系统）

一、型号编码解析

• VTC：Vacuum Turbo Cart → 涡轮分子泵集成排气系统

• 150：涡轮分子泵抽速规格（150 L/s（N₂） 级）

• 后缀说明：常见为 VTC-150-LV1/LV2（LV=Low Vacuum，低真空侧适配；LV1=50Hz、LV2=60Hz，电气规格差异）

二、核心性能参数

三、核心功能与优势

1. 无油洁净真空：全程无油设计，杜绝油雾返渗，适配半导体、医药、食品等洁净场景。

2. 高抽速 + 快速抽气：150 L/s 主泵 + 250 L/min 粗抽泵，兼顾高真空与预抽效率，缩短制程节拍。

3. 低背压 LV 设计：粗抽侧流道优化，不增加分子泵负载，不影响极限真空与抽速。

4. 集成化运维：同步启停控制，内置故障保护与状态监控，维护便捷（滤芯寿命约 2000–3000h）。

四、适配场景

• 半导体：晶圆刻蚀、CVD/PVD 沉积、离子注入、真空检测腔

• 真空镀膜：光学镀膜、磁控溅射、半导体薄膜制备

• 分析仪器：质谱仪、电子显微镜、表面分析设备

• 科研实验：超高真空物理实验、材料表征、超导 / 量子设备

五、选型与维护要点

1. 介质要求：仅允许干燥、洁净气体（N₂、Ar、洁净空气），进气端需加装 0.1μm 高效过滤器，严防粉尘 / 水汽 / 腐蚀性气体。

2. 启动顺序：先启 ISP 粗抽泵预抽至低真空，再启动涡轮分子泵，严禁分子泵在大气压下直接启动。

3. 型号区分：VTC-150 为高真空集成系统，≠ 小型排气过滤器（如 VTC-050），需与对应抽速的 ISP / 涡旋干泵配套使用。

4. 维护：定期检查排气滤芯与泵油位（ISP 干泵），滤芯堵塞时及时更换（型号：VTC-150-FILTER）。