产品分类

Products

相关文章

Related articles

产品中心/ PRODUCTS

我的位置：首页  >  产品中心  >    >  OSAKA大阪真空 优势品牌  >  TG50FOsaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵

Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵
  • 产品型号：TG50F
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-04-17
  • 访  问  量：99
简要描述：

Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
热门爆款

在线咨询

联系电话：18825222238

产品详情

 Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵
 Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵

OSAKA 大阪真空 TG50F（复合涡轮分子泵，任意安装姿态，高真空洁净型）

核心定位：51 L/s 抽速、极限 < 3×10⁻⁶ Pa，无油、任意角度安装、低振动，专为半导体、分析仪器、电子枪、高真空镀膜等洁净高真空场景设计，配套 TC64 控制器株式会社大阪真空机器制作所

一、核心性能参数（标准，N₂ 测试）

项目参数值关键说明
抽气速度（N₂）51 L/s；带防护网 49 L/s；H₂ 12 L/s高抽速、轻分子 (H₂) 压缩比适中
极限真空（基压）<3×10⁻⁶ Pa（<2.3×10⁻⁸ Torr）超高真空，满足半导体 / 分析级洁净要求
最大压缩比N₂：1.4×10⁷；H₂：5×10²氮气高压缩、氢气中等，适配常规高真空
最大气体流量N₂：80 sccm稳定抽气上限，避免过载
启动 / 停机时间1–1.5 min快速启停，适配间歇 / 自动化工况
允许前级压力最大 100 Pa；推荐 < 10 Pa需配前级泵（干泵 / 油泵）预抽
进气法兰VG65 / ISO-R63 / CF63三种标准法兰，兼容主流真空接口
排气口KF16小口径，适配前级泵连接
冷却方式风冷（内置风扇）无需水冷，安装灵活、免水路
电机 / 驱动磁悬浮 / 无接触轴承，无油、免维护零返油、，寿命长
安装姿态任意角度（水平 / 垂直 / 倒置）空间灵活，设备集成友好
配套控制器TC64标配，支持远程控制、串口通信、转速 / 保护
控制器参数单相 100–110V / 200–230V，50/60Hz；最大功率 220 VA通用工业电压，低功耗
重量泵体约 6.5 kg；TC64 控制器 2.7 kg轻量化，便于集成
防护 / 噪音低振动、低噪音，IP54适应洁净车间 / 实验室环境

二、核心优势

  1. 无油洁净高真空：涡轮分子 + 复合结构，无油、零碳氢污染、零返油，匹配半导体、分析仪器、光学镀膜等对真空洁净度要求的场景

  2. 任意姿态安装：打破传统分子泵垂直安装限制，水平、倒置、倾斜均可稳定运行，极大提升设备集成与空间利用率

  3. 低维护、高可靠：无接触轴承、风冷、无易损件，长期免维护、连续 24/7 稳定运行，适合自动化产线与精密设备

  4. 快速启停 + 低振动：1–1.5 min 达额定转速，振动小、噪音低，不影响精密仪器 / 腔体精度

三、典型应用场景

  • 半导体 / 微电子：晶圆制程、离子注入、电子束蒸发、真空检测

  • 分析仪器：质谱仪、电子显微镜、表面分析、真空检漏

  • 工业真空：光学镀膜、电子枪排气、FPD 面板制造、灯具 / 光学元件生产

  • 科研 / 实验室：加速器、核聚变、材料研究、超高真空实验装置

四、选型与配套提示

  • 前级泵匹配：建议配莱宝 VARODRY 干式螺杆泵（VD65/VD100） 或同级别无油干泵，前级压力稳定 <10 Pa 以保证 TG50F 寿命与性能

  • 防护选型：抽腐蚀性 / 活性气体，需选TG-M 化学专用版，TG50F 为标准洁净型，不适合强腐蚀工况

































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































































在线咨询

留言框

  • 产品：

  • 您的单位：

  • 您的姓名：

  • 联系电话：

  • 常用邮箱：

  • 省份：

  • 详细地址：

  • 补充说明：

  • 验证码：

    请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

TEL：18825222238

扫码加微信