- 原装进口
- 正规报关
- 长期现货
服务热线：
18825222238
服务热线：
18825222238
产品分类
Products产品中心/ PRODUCTS
在线咨询
联系电话：18825222238
| 项目 | 参数值 | 关键说明 |
|---|---|---|
| 型号 | TG60F / TG60F-20 | 一体 / 分离控制器 |
| 抽速（N₂） | 60 L/s；带防护网 55 L/s；H₂ 22 L/s | 中高抽速，氢气压缩比优异株式会社大阪真空机器制作所 |
| 极限真空 | CF63：<1×10⁻⁶ Pa；ISO-R63：<5×10⁻⁶ Pa | 超高真空，满足半导体 / 分析级株式会社大阪真空机器制作所 |
| 最大压缩比 | N₂：2×10⁷；H₂：3×10³ | 氮气高压缩、氢气高效株式会社大阪真空机器制作所 |
| 最大气体流量 | 自然风冷 10 sccm；强制风冷 20 sccm | 气量大时需增强散热 |
| 启动 / 停机 | 启动 1.5–2 min；停机 15–25 min | 快速启动，VENT 功能快速降速株式会社大阪真空机器制作所 |
| 允许前级压力 | 最大 800 Pa（6 Torr）；推荐 <10 Pa | 需前级泵预抽至低真空株式会社大阪真空机器制作所 |
| 推荐前级泵 | 抽速 ≥25 L/min 干泵 / 油泵 | 莱宝 VARODRY 65/100 等株式会社大阪真空机器制作所 |
| 进气法兰 | ISO-R63 / CF63 / KF40 | 主流真空接口，集成友好株式会社大阪真空机器制作所 |
| 排气口 | KF16 | 标准前级连接口株式会社大阪真空机器制作所 |
| 冷却 | 风冷（内置风扇） | 免水冷，安装灵活 |
| 安装 | 任意角度（水平 / 垂直 / 倒置） | 空间适配性强株式会社大阪真空机器制作所 |
| 控制器 | TG60F：TC65（内置）；TG60F-20：TC66（外置） | 双电压 100–230V AC株式会社大阪真空机器制作所 |
| 重量 | ISO-R：TG60F 3.4 kg / TG60F-20 3 kg；CF：5.4 kg / 5 kg | 轻量化，便于集成株式会社大阪真空机器制作所 |
| 防护 / 认证 | IP54；TG60F-20 符合 NRTL/SEMI-S2/CE | 洁净车间 / 工业环境兼容 |
无油洁净真空：复合涡轮结构 + 无接触轴承，零返油、零碳氢污染，适配高纯工艺。
任意姿态安装：法兰对称设计，水平、倒置、倾斜均可稳定运行，空间利用率高株式会社大阪真空机器制作所。
耐冲击 + 高可靠：耐受大气冲击与压力波动，20,000–30,000 小时维护周期，适合连续运行。
集成便捷：内置 TC65 控制器或外置 TC66，双电压兼容，接线与调试简单株式会社大阪真空机器制作所。
半导体 / 微电子：晶圆制程、离子注入、电子束蒸发、真空检测
显示面板：FPD/OLED 面板镀膜、真空烘烤
分析仪器：质谱仪、电子显微镜、表面分析、真空检漏
科研 / 工业：加速器、光学镀膜、电子枪排气、精密热处理
前级匹配：优先 25 L/min 以上干泵（如莱宝 VARODRY 65），确保前级压力 < 10 Pa株式会社大阪真空机器制作所。
版本选择：标准型（洁净通用）；TG-M 型（耐化学腐蚀，适腐蚀性气体）。
环境要求：运行环境温度 8–38℃，保证极限真空建议 10–23℃。
| 项目 | TG50F | TG60F | 差异影响 |
|---|---|---|---|
| 抽速（N₂） | 51 L/s | 60 L/s | 流量提升约 18%，大腔体更快抽气 |
| H₂ 抽速 | 12 L/s | 22 L/s | 氢气排气能力翻倍，适用含氢工艺 |
| 极限真空（CF） | <3×10⁻⁶ Pa | <1×10⁻⁶ Pa | 更高真空，满足更严格制程 |
| 重量（CF） | 6.5 kg | 5.4 kg | TG60F 更轻，集成更轻松 |
我的位置：
扫码加微信