Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装
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Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装

Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装

大阪真空 OSAKA TG1003 涡轮分子泵（化学耐腐蚀型，油润滑滚珠轴承）

一、核心参数（标准型）

二、核心特性（化学型专属，区别 TG1000）

1. 强耐腐蚀结构

   流道、转子、叶片全表面抗腐蚀涂层 + 耐蚀材料处理，专用耐蚀润滑油，耐受半导体刻蚀 / 清洗用Cl₂、F₂、HF、HCl、NH₃、SiH₄等强腐蚀工艺气体，杜绝泵体腐蚀、油污染、转子损坏。

2. 抗大气冲击 + 高耐用

   强化转子 / 轴承支撑，耐受突发破真空、大气冲入、频繁启停，比普通分子泵寿命更长、故障率更低，适配恶劣工业真空工况。

3. 超大流量 + 高负载

   1000L/s 抽速、2715sccm 最大负载，满足大腔体、高流量腐蚀气体排气，适配半导体、FPD、光伏等量产产线株式会社大阪真空机器制作所。

4. 远程监控与多重保护

   标配RS232C 串行通信，支持远程启停、转速 / 压力 / 温度监控、故障报警；TC1003 集成过载、过热、背压过高、低油位、过速保护，异常自动停机。

三、TG1000 vs TG1003 关键区别

四、前级泵配套建议

• 推荐前级：干式螺杆泵（≥500L/min）或大流量油封旋片泵，确保背压稳定＜300Pa，避免过载、轴承磨损、转子卡死株式会社大阪真空机器制作所

• 严禁小流量前级，否则易触发背压报警、降速、停机保护

五、典型应用场景

• 半导体：刻蚀、清洗、沉积、离子注入等大流量腐蚀气体制程真空系统

• 面板 / 光伏：OLED/LCD、太阳能电池量产线，高负载腐蚀气体排气

• 表面处理：电子枪镀膜、离子源、真空热处理、表面改性

• 科研 / 工业：加速器、辐射设施、核聚变、光学元件 / 灯管制造

六、选型 / 使用要点

1. 腐蚀气体必须选TG1003（3 后缀），严禁用 TG1000

2. 法兰优先选CF160（高真空密封），VG150/ISO-B160 适配通用管路

3. 定期更换专用耐蚀润滑油、检查油位，延长轴承寿命