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| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | TG1303（化学耐蚀版，TG1300 为普通洁净型）株式会社大阪真空机器制作所 |
| 氮气 (N₂) 标称抽速 | 1300 L/s |
| 带防护网抽速 | 1100 L/s |
| 氢气 (H₂) 抽速 | 1000 L/s |
| 最大压缩比 | N₂: 1×10⁸；H₂: 4×10³ |
| 极限真空 | CF200：＜1×10⁻⁷ Pa；VG200/ISO-B200：＜1×10⁻⁶ Pa株式会社大阪真空机器制作所 |
| 额定转速 | 40000 rpm（400Hz） |
| 最大容许前级背压 | 300 Pa（2.3 Torr）株式会社大阪真空机器制作所 |
| 最大气体负载 (N₂) | 2715 sccm（前级≥1000L/min）株式会社大阪真空机器制作所 |
| 启动 / 停止时间 | 9–12 min / 9–13 min（真空下）株式会社大阪真空机器制作所 |
| 进气法兰 | VG200 / CF200 / ISO-B200（标准）株式会社大阪真空机器制作所 |
| 排气口 | KF40 / NW40 |
| 轴承 | 油润滑滚珠轴承（专用耐蚀润滑油） |
| 冷却 | 标配风冷（水冷可选） |
| 安装姿态 | 垂直 ±10°（严禁水平 / 倒置）株式会社大阪真空机器制作所 |
| 润滑油量 | 260 mL株式会社大阪真空机器制作所 |
| 泵体重量 | 50 kg株式会社大阪真空机器制作所 |
| 配套控制器 | TC1003（外置，RS232C 串行通信）株式会社大阪真空机器制作所 |
| 电源 | AC200–230V 单相 50/60Hz株式会社大阪真空机器制作所 |
| 功耗 | 1600 VA株式会社大阪真空机器制作所 |
| 认证 | CE / NRTL / SEMI-S2株式会社大阪真空机器制作所 |
强耐腐蚀结构
流道、转子、叶片全表面抗腐蚀涂层 + 耐蚀材料处理，专用耐蚀润滑油，耐受半导体刻蚀 / 清洗用Cl₂、F₂、HF、HCl、NH₃、SiH₄等强腐蚀工艺气体，杜绝泵体腐蚀、油污染、转子损坏株式会社大阪真空机器制作所。
抗大气冲击 + 高耐用
强化转子 / 轴承支撑，耐受突发破真空、大气冲入、频繁启停，比普通分子泵寿命更长、故障率更低，适配恶劣工业真空工况株式会社大阪真空机器制作所。
超大流量 + 高负载
1300L/s 抽速、2715sccm 最大负载，满足大腔体、高流量腐蚀气体排气，适配半导体、FPD、光伏等量产产线株式会社大阪真空机器制作所。
远程监控与多重保护
标配RS232C 串行通信，支持远程启停、转速 / 压力 / 温度监控、故障报警；TC1003 集成过载、过热、背压过高、低油位、过速保护，异常自动停机株式会社大阪真空机器制作所。
| 型号 | 类型 | 耐腐蚀性 | 适用气体 | 核心差异 |
|---|---|---|---|---|
| TG1300 | 标准洁净型 | 一般 | 洁净气体 (N₂/Ar/ 干空气) | 普通流道、不耐腐蚀、低负载 |
| TG1303 | 化学耐蚀型 | 强耐蚀 | 腐蚀气体 (Cl₂/F₂/HCl/NH₃等) | 防腐涂层、专用耐蚀油、抗冲击强化、2715sccm 高负载 |
推荐前级：干式螺杆泵（≥1000L/min）或大流量油封旋片泵，确保背压稳定＜300Pa，避免过载、轴承磨损、转子卡死株式会社大阪真空机器制作所
严禁小流量前级，否则易触发背压报警、降速、停机保护
半导体：刻蚀、清洗、沉积、离子注入等大流量腐蚀气体制程真空系统
面板 / 光伏：OLED/LCD、太阳能电池量产线，高负载腐蚀气体排气
表面处理：电子枪镀膜、离子源、真空热处理、表面改性
科研 / 工业：加速器、辐射设施、核聚变、光学元件 / 灯管制造株式会社大阪真空机器制作所
腐蚀气体必须选TG1303（3 后缀），严禁用 TG1300
法兰优先选CF200（高真空密封），VG200/ISO-B200 适配通用管路株式会社大阪真空机器制作所
定期更换专用耐蚀润滑油、检查油位，延长轴承寿命
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