Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装
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Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装

Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装

大阪真空 OSAKA TG1810 涡轮分子泵（标准洁净型，油润滑滚珠轴承）

一、核心参数（标准型）

二、核心特性（洁净型 TG1810）

1. 超大流量 + 高负载

   1800L/s 抽速、2444sccm 最大负载，适配超大腔体、高流量洁净气体排气，满足半导体、面板、光伏量产产线需求。

2. 油润滑高可靠

   专用滚珠轴承 + 循环油润滑，抗冲击、耐频繁启停、抗大气冲击，比脂润滑更适合长时间连续运行、高负载工况。

3. 复合转子结构

   涡轮 + 牵引复合叶片，兼顾高抽速与高压缩比，极限真空优异，适合高真空 / 超高真空系统。

4. 远程监控与全保护

   TC1810 控制器支持RS232C 远程通信，监控转速、温度、背压、油位；集成过载、过热、背压过高、低油位、过速保护，异常自动停机。

三、TG1810（洁净） vs TG1813（耐蚀） 关键区别

四、前级泵配套建议

• 推荐前级：干式螺杆泵（≥1000L/min）或大流量油封旋片泵，确保背压稳定＜300Pa，避免过载、轴承磨损、转子卡死

• 严禁小流量前级，否则易触发背压报警、降速、停机保护

五、典型应用场景

• 半导体：沉积、扩散、离子注入、光刻等洁净制程大腔体真空系统

• 面板 / 光伏：OLED/LCD、太阳能电池量产线，洁净气体大流量排气

• 表面处理：电子枪镀膜、光学镀膜、真空热处理、真空钎焊

• 科研 / 工业：加速器、核聚变、真空冶金、大型真空设备

六、选型 / 使用要点

1. 仅用于洁净气体；若通腐蚀气体，必须选 TG1813（3 后缀），严禁用 TG1810

2. 法兰优先选CF250（高真空密封），VG250/ISO-B250 适配通用管路

3. 水冷必须正常运行，定期更换专用润滑油、检查油位，延长轴承寿命