Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器
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Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器

Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器

大阪真空 OSAKA TG3413 涡轮分子泵（化学耐蚀型，油润滑滚珠轴承）

一、核心参数（耐蚀型 TG3413）

二、核心耐蚀专属特性（区别 TG3410）

1. 全流道强防腐

   转子、叶片、泵腔内壁采用耐蚀合金 + 专用防腐涂层，搭配抗腐蚀专用润滑油，耐受半导体主流强腐蚀工艺气体，杜绝泵体腐蚀、油变质、转子卡死、腔体污染，适配连续腐蚀工况。

2. 强化抗冲击结构

   轴承支撑、转子动平衡与壳体强化，耐受突发破真空、大气冲入、频繁启停、高负载连续运行，比洁净型 TG3410 耐用性提升 30%+，适配恶劣量产线环境。

3. 超大抽速 + 高负载

   3400L/s（TG 系列耐蚀型峰值）、543sccm 最大负载，满足超大型腔体、高流量腐蚀气体连续排气，覆盖 12 英寸晶圆、大尺寸面板 / 光伏产线需求。

4. TC3200/TC3213 智能控制

   支持RS232C 远程通信，实时监控转速、温度、背压、油位、腐蚀浓度；集成过载、过热、背压过高、低油位、过速、腐蚀多级报警，异常自动停机保护。

三、TG3413 vs TG3213 vs TG2813 核心对比

四、前级泵配套 & 使用要点

1. 前级泵选型：优先干式螺杆泵 3000L/min（确保背压稳定＜270Pa）；1500L/min 为要求，小流量易触发背压报警、降速、轴承磨损、转子卡死。

2. 冷却强制要求：水冷必须常开，进水温度≤30℃、流量充足，防止高温导致润滑油劣化、轴承失效、泵体变形。

3. 维护规范：腐蚀工况下每 3000–5000 小时更换专用耐蚀润滑油；定期检查油位 / 油质、泵腔腐蚀、密封件状态。

4. 法兰与安装：优先VG350/ISO-F400（超大口径、高真空密封、耐腐蚀）；严格垂直安装，倾斜≤±10°。

五、典型应用场景

• 半导体：12 英寸晶圆刻蚀、清洗、ALD/CVD、离子注入等高流量腐蚀气体制程

• 面板 / 光伏：OLED/LCD、大尺寸太阳能电池量产线，超大腔体腐蚀排气

• 表面处理：大功率离子源、电子枪镀膜、真空热处理、表面改性

• 科研 / 工业：加速器、核聚变、真空冶金、大型腐蚀工况真空设备

六、选型核心提醒

• 通任何强腐蚀气体，必须选 TG3413（3 后缀），严禁用 TG3410 洁净型；需要3400L/s 级最大抽速 + 耐蚀时，TG3413 是选择。